판매용 중고 BREWER SCIENCE CEE 100CB #9165200

ID: 9165200
웨이퍼 크기: 8"
Photoresist spinner hotplate, 8" Coat bake wafers.
BREWER SCIENCE CEE 100CB는 고급 마이크로 일렉트로닉스 및 반도체 장치의 제작에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 포토 마스크 노출 에너지의 탁월한 패턴화 (patterning fidelity), 고해상도 (high resolution) 및 효율적인 활용을 위해 사진 시작 중합의 독특한 조합을 사용합니다. 이 제품은 파퍼 기판에 스핀-적용 된 후 사용자 정의 마스크에 노출 된 광활성 에폭시 기반 재료 (photoactive epoxy-based material) 로 구성된다. 이 마스크에는 투명 창 (transparent window) 과 불투명 벽 (불투명 wall) 형태의 원하는 디자인의 설계 패턴이 포함되어 있습니다. 노출되면, 에폭시 (epoxy) 물질은 마스크 패턴의 가장자리를 따라 정확하게 중합되어, 마스크 개구부와 벽의 모양과 크기를 충실히 복제하는 경화 된 마이크로 스케일 구조를 형성한다. 이어서, 중합된 물질은 후속 에칭 프로세스에 대한 물리적 마스크 역할을하여, 원하는 장치 패턴을 생성한다. BREWER SCIENCE CEE 100 CB 재료는 뛰어난 해상도, 패턴 제어 및 스캔 저항을 나타내며 50 마이크로 미터 이하의 복잡한 패턴화에 적합합니다. 또한 CEE 100CB 의 에너지 효율성 (energy efficiency) 을 통해 대규모 패턴을 경제적으로 중합하여 처리량 및 수율을 향상시킬 수 있습니다. CEE 100 CB는 고성능 포토 이니시에이터 (Photo-Initiator) 패키지를 활용하여 사진 중간 농도를 최적화함으로써 웨이퍼 프로세스 깊이와 균일성을 향상시킵니다. BREWER SCIENCE CEE 100CB photoresist 유닛은 고해상도와 안정적인 패턴 성능을 원하는 장치 제조업체를 위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 성능과 에너지 효율성의 조합으로 복잡한 패턴 (pattern) 과 미세한 기능 (microscopic features) 을 갖춘 디바이스를 더욱 빠르고 안정적으로 생산할 수 있습니다. BREWER SCIENCE CEE 100 CB 기계는 고급 장치 제작의 요구를 충족시키기 위해 정확하고 효율적인 패턴 생성이 필요한 제조업체에 적합합니다.
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