판매용 중고 BREWER SCIENCE Apogee spinner FL #293651589

ID: 293651589
Spin coater.
Brewe SCIENCE BREWER SCIENCE Apogee 스피너 FL은 산업 스피너 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 직경이 4 "~ 12" 인 기판을 코팅 할 수있는 비용 효율적인 주파수 제어 광도 코팅 시스템입니다. 이 장치에는 1 개 또는 2 개의 분배 실이 장착되어 있으며, 각각 용융된 광 주의자와 최대 4 개의 기판을 코팅하기위한 다양한 액체 또는 혼합물을 동시에 분배 할 수 있습니다. 이를 통해 기판의 전체 표면 (surface area) 에 균일 한 두께 (thickness) 를 갖는 포토리스 스트 (photoresist) 를 적용하여 전통적인 스핀 온 저항과 관련된 시간과 비용을 줄일 수 있습니다. photoresist 기계는 회전 기판 바로 아래에 위치한 스핀들로 구성됩니다. 스핀들은 주파수 제어 모터 (frequency-controlled motor) 에 의해 구동되며, 이는 포토 esist를 기판으로 운반하는 스테인리스 스틸 호스에 연결됩니다. 호스의 끝에는 용융된 사진 연주자를 정확하게 분배하는 샤워 헤드 (showerhead) 와 같은 노즐이 장착되어 있습니다. 용융 된 광전물질 은 기질 바로 위 에서 방출 되며, 원심력 에 의해 지표 쪽 으로 추진된다. 이렇게 하면, 기판 의 표면 영역 전체 에 "포토레지스트 '층 이 균일 하게 생긴다. 고강도 적외선 (IR) 램프는 스핀들 하단에 장착되며, 기판에 적용될 때 포토 esist를 치료하기 위해 사용됩니다. IR 램프 (IR lamp) 는 외부 전원, 일반적으로 전원 인버터 (Power Invertor) 로 구동되며, 이는 경화 과정을 시작하는 데 필요한 전원이 램프를 공급합니다. 또한, 스피너 (spinner) 에는 온도 컨트롤러가 장착되어 있으며, 이 컨트롤러는 용융된 포토 esist의 온도를 정확하게 조절하여 정확한 치료 결과를 보장합니다. 포토레시스트 (photoresist) 도구는 사용자 친화적이며 작동하기 쉽도록 설계되었으며, 최소한의 훈련과 교정이 필요합니다. 이 에셋은 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 프로세스 모니터링을 위한 다양한 디스플레이 옵션 (display option) 과 최적의 성능을 제공합니다. 또한, 이 모델은 고객의 고유한 요구 사항과 요구 사항에 맞게 조정될 수 있으며, 산업용 스피너 (Spinner) 리소그래피 프로세스를 위한 매우 다양하고 비용 효율적인 옵션입니다.
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