판매용 중고 BREWER SCIENCE Apogee bake FL #293659674

BREWER SCIENCE Apogee 베이크 FL은 영화 저항 시스템 배포를 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 대용량 리소그래피 (lithography) 요구 사항에 적합하므로 빠르고, 안정적이며, 반복 가능한 프로세스가 가능합니다. 이 장치는 스핀 속도 (spin speed) 와 포토레지스트에 적용된 프로세스 시간 (process time) 을 모두 제어한 다음 저항층을 웨이퍼 서피스에 굽는 방식으로 작동합니다. 이 기계는 고유 한 "스핀 앤 베이크 (spin-and-bake)" 방법을 사용하여 고르고 신뢰할 수있는 코팅 레이어를 생성합니다. 이 방법에는 스피너 기반 코팅과 폐쇄 된 환경에서 높은 정확도 베이킹이 포함됩니다. 이 방법으로, 저항은 일정한 흐름 속도와 VOC-free 환경에서 웨이퍼에 적용됩니다. 정밀 가열 요소 및 센서를 사용하여 높은 정확도 베이킹을 달성합니다. 이 도구는 온도와 시간을 정확하게 모니터링하여 균일 한 열 분포를 보장 할 수 있습니다. 베이킹 챔버 (baking chamber) 의 치수는 최대 230 ° C의 온도의 균일 한 분포에 최적화되어 가능한 가장 짧은 베이크 시간을 허용합니다. 또한 Apogee bake FL에는 고급 자동화 소프트웨어 (advanced automated software) 가 포함되어 있어 자동화된 레시피, 프로세스 파일 및 제어 매개변수를 만들어 특정 요구 사항에 맞게 에셋을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 사용자는 shingle 급지대의 속도, 시간 (shingle feeder), 스피너의 유지 시간, 침투실 속도, 온도 설정 점 (temperature setpoint), 기타 매개변수 등 결과를 최적화하기 위해 서브시스템을 프로그래밍할 수 있습니다. 또한이 모델에는 다양한 온보드 처리 레시피가 장착되어 있습니다. 이 장비는 프로세스 자동화 외에도 온도 자가 모니터링, 화학적 배출량 감소, 효율적인 에너지 절약 기술 등 다양한 안전/환경 보호 (Safety and Environmental Protection) 기능을 제공합니다. 이것은 직장에서 안전하고 친환경 환경을 보장합니다. 브루어 사이언스 아포지 (BREWER SCIENCE Apogee) 베이크 FL은 대용량 리소그래피 요구의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급적이고 효율적인 사진주의 시스템입니다. 짝수 코팅 레이어, 정확한 온도 조절, 자동 레시피, 다양한 안전 및 환경 기능을 제공합니다. 이 장치를 사용하면 사용자가 반복 가능하고 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있으며, 다수의 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에서 성공을 거둘 수 있습니다.