판매용 중고 AXCELIS / FUSION R850 #9144806

AXCELIS/FUSION R850은 리소그래피 프로세스에 사용되는 고성능 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 여러 가지 기능을 결합하여 고급 로직 (advanced logic), 메모리 (memory), 디스플레이 어플리케이션 (display application) 과 같은 중요한 리소그래피 어플리케이션에 비용 효율적이고 안정적이며 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 제품은 웨이퍼 프로세싱 (wafer processing) 에 대한 가장 까다로운 글로벌 시장 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었으며, 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 는 연구, 엔지니어링 및 운영 담당자에게 원하는 디바이스 특성을 최적화하는 정보를 제공합니다. FUSION R850은 고주파 xenon 충전 램프, 빠른 TTL 노출 제어, 뛰어난 고정밀 머시닝 옵틱, 고급 환경 제어 설계를 통해 사용자가 장치를 정확하게 조정할 수 있습니다. 이러한 구성 요소는 결합하여 고밀도 해상도 5.1 미크론 (마스크) 과 총 공구 균일성 (0.5% 이하) 을 갖춘 매우 정확한 포토 esist 기계를 제공합니다. 에셋은 또한 고급 IC 설계를 위한 고대비 이미징을 제공하며, 컨택트 리소그래피 (Contact Lithography), 싱글 레이어 게이트 패턴 (Single Layer Gate Patterning) 등 다양한 렌즈 기능을 제공합니다. 또한 자동화된 엔드포인트 감지 (endpoint detection) 및 웨이퍼 로딩 (wafer loading) 기능을 통해 사용자의 개입을 최소화하고 운영 처리량을 최대 30% 까지 높일 수 있습니다. 고급 노출 제어 장비에는 동적 GPSM (Dynamic GPSM) 모듈 (옵션) 이 포함되어 있으므로 시스템 매개변수를 실시간으로 정확하게 관리할 수 있으며, 결과적으로 가장 높은 반복 가능성을 얻을 수 있습니다. 웨이퍼 처리 시 효율성을 극대화하기 위해 AXCELIS R850 은 옵션으로 제공되는 Loadlock 을 통해 사용자가 프로그래밍 전에 최대 10 개의 카세트 (cassette) 의 웨이퍼 (wafer) 를 전송하고 저장할 수 있으므로 운영자의 개입 없이도 운영 작업을 계속할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 핫 스왑 (hot-swap) 카세트 메커니즘을 특징으로하며, 이 메커니즘을 통해 운영자는 도구가 작동하는 동안 웨이퍼로 카트리지를 전환 할 수 있습니다. 자산과 PCS Process Planning Software의 호환성은 R850과 함께 사용할 때 최적의 장치 특성 및 생산 수율을 보장합니다. 이러한 기능은 신뢰성 및 비용 효율성과 결합하여 AXCELIS/FUSION R850 포토레시스트 (photoresist) 모델을 정확한 리소그래피 결과와 고품질 수율을 요구하는 많은 업계 전문가의 선택으로 만듭니다. EMC 의 탁월한 기능은 사용자가 빠르게 변화하는 글로벌 IC 시장의 요구 사항에 잘 대비할 수 있도록 지원합니다.