판매용 중고 AXCELIS / FUSION R850 #9134042

AXCELIS/FUSION R850은 반도체 산업에서 기판에서 회로 패턴을 생산하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 제조 혁신 (Manufacturing Innovation) 과 성능 추진 (Performance) 을 위한 다재다능한 플랫폼을 제공하는 가장 발전된 저항 스트립 툴입니다. FUSION R850은 고급 석판화 및 에치 툴 세트를 사용하여 여러 재료 저항 스트립 응용 프로그램을 활성화합니다. 복잡한 프로세스 흐름을 수용할 수있는 하이브리드 Open-Loop/Closed-Loop Control 시스템이 있습니다. 오픈 루프 제어 (Open-Loop Control) 알고리즘은 포토리스 스트 노출 및 에칭 성능에서 웨이퍼 투 웨이퍼 분산을 보완하기 위해 예측 제어 알고리즘을 사용하여 프로세스 흐름을 더 잘 제어합니다. 닫힌 루프 제어 (Closed-Loop Control) 장치는 실시간 피드백과 함께 사이트 내 레이어 간 도량형을 가능하게 하여 반복성과 정밀한 이미지 해상도를 보장합니다. AXCELIS R850 시스템의 핵심에는 FUSION 독점 Open Process Champion Technology가 있습니다. 본 소프트웨어 기반 분석 툴을 사용하면 프로세스 데이터와 추세를 실시간으로 분석할 수 있으며, 레시피를 구체화하고 주기 (cycle) 시간을 단축할 수 있습니다. 이러한 프로세스 최적화 유연성 (Flexibility of Process Optimization) 을 통해 더 높은 수율과 저항 스트립 프로세스 흐름을 제어할 수 있습니다. R850 도구는 광범위한 포토 esist 재료를 지원합니다. 이 자산은 반도체 소자를 생산하는 데 사용되는 미크론 수준의 마이크로 리토 그래피 (micron-level micrelithography) 프로세스를 20nm까지 처리 할 수 있습니다. 또한, 고급 입자 제거 전략 및 자동 저항 스트립 결함 검출 (automated resist strip defect detection) 을 사용하여 최적의 수율을 제공합니다. 이 정교한 photoresist 모델은 비용 절감, 프로세스 흐름 향상, 수율 증가를 위해 설계되었습니다. AXCELIS/FUSION R850 장비는 레시피를 최적화함으로써 제조업체가 반도체 장치를 보다 효율적으로 생산하고 최종 제품의 품질을 높일 수 있도록 지원합니다 (영문).