판매용 중고 APT 9145 EP #9124776

APT 9145 EP는 연구, 반도체, 마이크로 일렉트로닉스, 박막 태양 전지 및 의료 장치 산업에서 가장 높은 해상도의 웨이퍼 패턴을 제공하기 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 시스템은 조명 패턴으로 미리 정의된 투영 마스크 (pre-defined projection mask) 를 사용하여 단일 주기 동안 기판을 다른 위치에 노출시킬 수 있습니다. 이러한 종류의 투영은 기판에서 42 nm 정도의 작은 기능을 패턴화 할 수 있습니다. 이 장치는 내장 렌즈가있는 기술적으로 진보 된 광학 머신 (optical machine) 을 특징으로하여 까다로운 사진 해설을 위한 최적의 균일성과 정확성을 보장합니다. 이 도구에는 조정 가능한 모션 스테이지 (motion stage) 와 반복 가능하고 균일 한 프로세스에 대한 완전 자동 노출 프로세스 (fully automated exposure process) 도 제공됩니다. 자산은 선형 투영 텔레센트릭 모터 (Linear Projection Telecentric Motor) 를 사용하여 기판의 1 평방 밀리미터마다 패턴 초점과 크기가 일관되게 유지되도록 합니다. 이렇게 하면 패턴이 일관된 정확도로 생성됩니다. 모델과 함께 제공되는 소프트웨어는 사용자 친화적 (user-friendly) 이며, 사용자가 포토레시스트 (photoresist) 장비의 매개변수를 최적화할 수 있도록 도와 주며, 기판을 어떻게 패턴화하는가에 대해 다양한 옵션을 제공합니다. 또한, 사용자는 서로 다른 매개변수를 신속하게 저장하고 리콜할 수 있으며, 이를 통해 반복 가능하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 후처리 측면에서, 시스템은 다양한 옵션을 특징으로하며, 이 옵션은 패턴화 된 기판이 잔류 (residue) 를 완전히 청소하고 최적의 기판 안정성을 유지하는 데 도움이 됩니다. "오존 '," 할로폼' 및 "이산화황 '을 사용 하여 기질 을 최소 의 손상 으로 철저 히 청소 하는 것 이 선택 된다. 이 장치에는 또한 물 냉각기 (water cooling machine) 가 있는데, 이는 노출 중에 기판 온도를 안정화하는 데 사용될 수 있습니다. 이 도구는 열 손상 (thermal damage) 을 줄이고 처리 중에 기판을 냉각시킵니다. 요컨대, APT 9145EP 는 강력하고 신뢰할 수 있는 포토레시스트 (photoresist) 자산으로, 다양한 기판 패턴화 응용 프로그램에 대해 사용자에게 매우 정밀하고 정확성을 제공합니다.