판매용 중고 APPLIED MULTILAYERS CFM 650 #170770
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ID: 170770
Precision optical coater
Drum diameter 424mm
Linear magnetron length 610mm
Magnetron width (target size) 133mm
Magnetron positions 4
Available coating area (±1%) 5040 cm2.
APPLIED MULTILAYERS CFM 650은 두 가지 구성 요소, 즉 감광 유화액과 두께 측정으로 구성된 포토 esist 장비입니다. 이 photoresist 시스템은 정밀 마스킹, 차폐, 증착의 필요성에 대한 신뢰할 수있는 솔루션을 제공하지만, 모든 photoresist 레이어의 두께 측정에 대한 매우 정확한 결과를 제공합니다. 감광성 유화 (photosensitive emulsion) 는 감광 분자로 구성된 작은 입자 물질로, 특정 파장 빛 노출로 선택적으로 활성화 될 수있다. 이로써 광저항 층 (photoresist layer) 의 여러 영역에서 선택적으로 발달하여, 장치 제조에 사용하기 위해 유전체 및 절연 층의 정확한 패턴화를 가능하게한다. CFM 650의 측정 부분은 고급 용량 변위 센서 (capacitive displacement sensor) 기술, 매우 정확한 3D 스캐너, 단순하고 사용자 친화적 인 소프트웨어를 기반으로 합니다. 이 "센서 '는 감광" 이멀션' 에 의해 생성 된 광저항 층 의 두께 를 측정 하는 데 사용 된다. APPLIED MULTILAYERS CFM 650 (응용 다중 계층 CFM 650) 의 테스트 결과는 효율성과 처리량이 향상되고, 완전히 파괴되지 않고, 바람직하지 않은 인공물을 남기지 않는 매우 높은 정확도와 반복 가능성을 보여줍니다. 그 결과 는 매우 정확 하고, 의도적 인 설계 와 일치 하며, 심지어 일정 한 작업 조건 에 처할 때 에도 그러하다. 또한, CFM 650은 고 정밀 기계로, 기판에서 서브 미크론 수준까지 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 결론적으로 APPLIED MULTILAYERS CFM 650은 신뢰할 수 있고 일관된 결과를 제공하는 뛰어난 포토레지스트 도구입니다. 두 부분으로 구성되어 있습니다. 감광 유화액과 두께 측정을위한 3D 스캐너입니다. 이 두 컴포넌트의 조합은 장치 표면에서, 서브 미크론 (sub-micron) 수준으로, 정확도와 처리량이 향상되어 정확한 패턴을 제공합니다. CFM 650은 표면 레이어의 정확하고 정확한 패턴화에 적합한 선택입니다.
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