판매용 중고 AND ASP-2000LX #9206243

AND ASP-2000LX
제조사
AND
모델
ASP-2000LX
ID: 9206243
웨이퍼 크기: 2"
빈티지: 2013
Track, 2" 2013 vintage.
AND ASP-2000LX는 다양한 산업 레이저 처리 응용 프로그램에서 높은 정확도와 반복성을 제공하도록 설계된 정밀 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 기계는 공기 미립자를 제거하는 고급 질소 제거 공기 보조 시스템 (Advanced Nitrogen Purged Air Assist System) 을 사용하여 에치 레이트 (Etch Rate) 에서도 지속적으로 우수한 결과를 보여줍니다. ASP-2000LX는 넓은 영역, 다중 계층 및 무거운 재료 기판을 수용하도록 설계되었습니다. 이 장치는 자체 로드 매거진을 사용하여 워크플로를 능률화하고 최대 1.25m x 0.5m 및 0.75m 높이의 재료를 효율적으로 처리하도록 설계되었습니다. 로드/언로드 속도는 최대 600 parts/hour이며 기판 테이블은 500kg/height 안정성을 허용합니다. 광학 측면에서 AND ASP-2000LX에는 운동학적으로 결합 된 빔 스플리터 큐브를 사용하는 고해상도 이미징 머신이 장착되어 있습니다. 또한, 이 도구에는 초점, 패턴 해석, 데이터 제어 및 레이저 펄스 밸런싱을 위한 통합 고성능 소프트웨어가 포함되어 있습니다. ASP-2000LX는 다양한 파장에서 CO2, 솔리드 스테이트 및 diode-laser와 같은 광범위한 레이저 소스를 지원합니다. 에셋은 또한 직접, 멀티 빔, 스팟, 벡터 및 아웃라인 매핑과 같은 다양한 에칭 모드를 처리 할 수 있습니다. 이 모델은 독특한 "스마트 (smart)" 노즐 장비를 통합하여 인간의 개입없이 정밀 조정이 자동화됩니다. 그리고 ASP-2000LX 시스템은 매우 자동화되어 수작업 로드 및 재료 언로드, 수동 빔 정렬 및 초점이 필요하지 않습니다. 이 장치는 또한 통합 안전 인터 록 (safety interlock), 배기 모니터링, 광학 차폐 안전 셔터 및 기타 다양한 안전 기능과 같은 안전 기능을 제공합니다. 전원 공급 장치 측면에서 ASP-2000LX에는 0.5W ~ 5kW 범위의 출력 전원 옵션이 있습니다. 이 기계에는 또한 레이저 헤드의 온도를 모니터링하는 통합 모니터링 도구 (Integrated Monitoring Tool) 가 포함되어 있어 우수한 열 관리 및 효율적인 출력을 제공합니다. 전반적으로, AND ASP-2000LX는 광범위한 산업 레이저 처리 어플리케이션에 대한 탁월한 정확성, 반복성 및 안전 (safety) 을 제공하는 고성능 포토레시스트 자산입니다. 이 모델의 직관적인 소프트웨어, 고도로 자동화된 운영, 그리고 다양한 전력 출력 옵션 (Power Output Options) 은 많은 기업에게 이상적인 선택입니다.
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