판매용 중고 AND ASP-2000LX #9205493

AND ASP-2000LX
제조사
AND
모델
ASP-2000LX
ID: 9205493
빈티지: 2013
Track, 2" 2013 vintage.
AND ASP-2000LX 포토 esist 장비는 고정밀 제작 프로세스를 수행하기 위한 고성능 시스템입니다. 이 장치는 깊고 정밀 레이저 리소그래피를 사용하여 최대 1.5 m 크기의 패턴을 생산합니다. 이 기계는 302nm 레이저 소스, 프로세스 제어를위한 측정 도구, 레이저 변조기 및 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 로 구성됩니다. "레이저 '변조기 는 패턴 을 생성 하기 위하여" 레이저' 광선 을 정확 하게 조절 하는 데 사용 된다. 측정 에셋은 두 가지 목적으로 사용되며, 하나는 처짐 각도 및 레이저 강도 (deflection angle AND laser intensity) 와 같은 프로세스와 관련된 다양한 매개변수를 보고하는 것이며, 다른 하나는 제어 장치에 대한 피드백을 제공하여 정확한 AND 반복 가능한 결과를 제공하는 것입니다. 제어 장치는 고급 작업 제어를 제공합니다. 따라서 속도, 패턴 방향, 크기 및 파장을 매우 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한, 제어 장치는 여러 가지 모양과, 그리고 패턴 크기를 저장하여 정확도와 반복성을 향상시킵니다. 또한 이 모델을 사용하면 패턴이 매우 정확하게 정렬되어 작은 패턴 피쳐와 개선된 선 모서리 (line edge) 거칠기 제어 (roughness control) 를 만들 수 있습니다. 장비의 optics AND mechanics는 고급형 정확도 표준을 위해 제작되어 최대 1 nm 정확도로 저항의 깊이와 1.5 nm 이하의 라인 너비로 수행 할 수 있습니다. 결과는 매우 작고 정확하며 반복 가능한 패턴입니다. 이러한 패턴은 에칭 (etching), 증착 (deposition), 금속화 (metallization) 및 기타 (more) 와 같은 다양한 제조 프로세스에 사용될 수 있습니다. 전반적으로 ASP-2000LX 포토 esist 시스템은 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하는 고정밀 제작 프로세스를 제공하도록 설계된 강력한 AND 고급 장치입니다. 이 제품은 1.5m정도 크기의 패턴을 생성할 수 있으며, 정확성과 반복성을 위해 고급 피드백 (feedback) 제어를 제공합니다. 프로그래밍 가능한 설정은 고도로 전문화 된 제작 프로세스에 이상적인 기계입니다.
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