판매용 중고 AND ASP-2000LX #9205491

AND ASP-2000LX
제조사
AND
모델
ASP-2000LX
ID: 9205491
웨이퍼 크기: 2"
빈티지: 2010
Track systems, 2" 2010 vintage.
AND ASP-2000LX는 산업용으로 설계된 고정밀도 완전 자동 포토 esist 장비입니다. 레지스트 코팅 (resist coating), 노출 후 베이크 (post-exposure bake) 및 개발 (AND) 의 노출을 하나의 완전 자동화 작업으로 결합한 독특한 시스템입니다. 이 장치는 제품 품질 최적화를 위해 프로세스 매개변수 (Process Parameters) 를 지속적으로 모니터링하고 조정 (Adjustment) 을 실시간으로 수행하여 생산 프로세스 및 제품 수율을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 기계는 두 가지 주요 구성 요소 (노출 장치 및 프로세스 제어 장치) 로 구성됩니다. 노출 장치에는 정밀하게 제어되는 레이저 다이오드 (laser diode) 가 장착되어 있으며, 넓은 범위에 걸쳐 노출 시간 및 전력 수준을 설정할 수 있습니다. 이것 은 "레지스트 '두께 조절 에서 1" 퍼센트' 이상 의 정확도 를 가능 케 하며, 그 도구 는 다양 한 다른 "포토레지스트 '물질 을 처리 하도록" 프로그램' 될 수 있다. 프로세스 제어 장치 (process control unit) 는 에셋의 두뇌이며, 노출 후 다양한 작업을 관리하는 임무를 맡고 있습니다. 노출 후 베이크 프로세스를위한 고정밀 오븐, 최적의 노출 후 베이크 타임을 정확하게 결정하는 비전 모델, 기판을 손상시키지 않고 노출 및 노출되지 않은 포토 esist를 신속하게 제거하기위한 자동 개발 장비 (Automated Development Equipment) 가 포함되어 있습니다. 또한 ASP-2000LX에는 프로세스 데이터를 모니터링, 기록 및 분석하기 위해 AND (SYSTEM AND) 의 다양한 기능을 제어하기위한 종합 소프트웨어 제품군이 포함되어 있습니다. 또한 이 소프트웨어를 사용하면 사용 중인 기판의 유형 AND 크기에 따라 노출 프로파일, 오븐 온도 및 AND 개발 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. 전반적으로, AND ASP-2000LX photoresist 유닛은 전체 photoresist 프로세스에 대한 정밀 제어를 제공하는 고급 산업 솔루션입니다. 이를 통해 사용자는 제품 생산량을 높이고, 노출 시간을 줄이고, 결과의 정확성과 일관된 품질을 보장할 수 있습니다.
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