판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider #9292668
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ID: 9292668
웨이퍼 크기: 8"
Cu Plating system, 8"
With (2) Plating chambers
(2) Cleaning chambers
Bevel clean chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS RAider (AMAT/APPLIED MATERIALS RAider) 는 광석기 제작 공정에서 마스크 패턴을 정확하게 노출하도록 설계된 고급 포토리스 장비입니다. 반도체 업계의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 AMAT Raider는 정밀 옵틱 (optic), 탁월한 정확성, 안정성, 장기적 성능을 갖추고 있습니다. APPLIED MATERIALS 레이더 (APPLIED MATERIALS Raider) 는 일관되고 반복 가능한 노출 특성으로 짧고 깊은 자외선 패턴 마크를 정확하게 비추는 정교한 조명 시스템을 사용하여 반도체 웨이퍼에 대한 기능 패턴화에 대한 일관되게 높은 수준의 정밀도를 보장합니다. 솔리드 스테이트 레이저 소스 (solid-state laser source) 는 뛰어난 포인트 투 포인트 노출 균일성을 제공하여 피쳐 위치의 이동없이 광중합체 물질을 느리게, 점진적으로 노출 할 수 있습니다. 자동 출력 (automated output) 은 자동화되고 반복 가능한 프로세스를 위해 프로그래밍 될 수도 있으며, 여러 웨이퍼를 동시에 코팅 및 노출시킬 수 있습니다. 이 장치의 제어 장치 (Control Unit) 는 모든 기능을 안정적으로 제어할 수 있도록 설계되었으며, 사용하기 쉬운 프로그래밍으로, 빠르고 안정적인 웨이퍼 처리가 가능합니다. Raider는 정교한 고정밀 이미징 광학을 사용하여 마스크 정렬을 위한 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하여 연산자 경험을 향상시킵니다. 자동 단계 추적 장치 (Automated Stage Tracking Machine) 는 각 웨이퍼가 프로세스 주기 내내 원래 등록을 유지하도록 설계되었습니다. 특유의 가장자리가 없는 모서리 센서 (edgeless edge sensor) 를 사용하면 노출 과정에서 마스크가 잘못 정렬될 가능성을 최소화할 수 있으며, 칩에지 (chip-edge) 마스크 감지 기능이 내장되어 있어 더 부드럽고 일관된 프로세스 흐름이 가능합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Raider는 리소그래피 시스템 및 로봇과의 간단한 통합, 워크플로우 간소화, 수작업 프로세스 자동화를 위해 설계되었습니다. 이 툴의 개방형 아키텍처는 각기 다른 자산 구성요소를 통합할 때 사용자 정의 (customization) 및 유연성 (flexibility) 을 제공합니다. 이 모든 것이 포토레시스트의 혁신적인, 고품질 노출을 보장하며, 업계 표준을 충족하거나 초과하는 결과를 산출합니다. 간단히 말해서, AMAT 레이더 (AMAT Raider) 는 리소그래피 마스크 및 광중합체 재료의 우수하고 반복 가능한 노출과 다른 시스템 및 구성 요소와의 사용자 정의 통합을 제공하도록 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 모델입니다. 정교하고 안정적인 조명 장비, 정밀 옵틱 (precision optic), 자동 추적 (automated tracking) 기능은 모두 함께 작동하여 모든 실행에서 반도체 웨이퍼를 정확하게 패턴화합니다.
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