판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider #9260103
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ID: 9260103
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2016
System, 6"
Model no: RE10O2ECD0604
ECD for SiC wafers, 6" (Bridge, 8")
(10) Chamber raiders: Cabinet / Frame
2-Position cassette: WIP
Raider automation and control system
Pre-aligner
Spin rinse dry chamber
DYNATRONIX Power supply for plating chamber
SMC Chillers
CFD3 Plating cells:
(2) XX Platings
(2) XX Strike platings
Process tanks:
(2) XX Baths
(2) XX Strike baths
No auxiliary equipment
2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Raider (AMAT/APPLIED MATERIALS Raider) 는 웨이퍼에서 반복 가능하고 고정밀 기능의 생산을 용이하게하도록 설계된 포토리스 장비입니다. 이 시스템은 산화물 (oxide), 질화물 (nitride), 고-k (high-k) 유전체와 같은 다양한 재료에서 특징 개발을 가능하게하도록 특별히 설계되었습니다. 이 장치는 기능 크기와 배치 정확성 덕분에 가장 높은 반복 가능성, 반복 가능성 (repeatability accuracy) 을 제공합니다. 이 기계의 이미징 반복 성은 0.5 "m '이며 기능 개발 해상도는 0.18" m' 입니다. 또한, 이 도구의 해상도 및 속도는 사용자의 생산 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다 (영문). AMAT Raider는 두 가지 주요 구성 요소 인 Aseptix Commander와 Matik Photoresist Asset으로 구성됩니다. Matik 모델은 Aseptix 플랫폼에 통합 된 고급 모듈식 photoresist 장비입니다. 이 시스템은 상하 (top-to-bottom) 마스크 접근 방식을 통해 기능 개발을 가능하게 하며 사용자에게 디지털 패턴화 기술을 적용할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 장치는 또한 생산 프로세스를 단순화하기 위해 다양한 다른 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 fiducial 마크를 찾기 위한 자동 플래너, 최적의 노출 조건을 설정하기위한 자동 조정 기능, 이미지 정확도를 향상시키는 자동 초점 머신 (auto-focus machine) 이 포함됩니다. 또한, 이 툴은 닫힌 루프 (closed-loop), 자동화된 프로세스를 제공하여 수작업을 수행할 필요가 없습니다. APPLIED MATERIALS Raider 자산은 광범위한 기능 개발 요구 사항에 적합합니다. 고해상도 (High Resolution) 와 정확도 (Accuracy) 와 같은 기능은 고성능 마이크로 일렉트로닉 컴포넌트 제조에 이상적인 솔루션입니다. 또한 자동 (automated) 기능은 운영 시간과 비용을 절감하는 한편, 기능 개발의 반복성도 향상시킵니다. 따라서 Raider는 고품질 마이크로 일렉트로닉 장치를 생산하는 데 필수적인 도구입니다.
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