판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider #293702989

AMAT/APPLIED MATERIALS Raider는 고급 반도체 장치 제조를 위해 동급 최고의 패턴화 해상도와 오버레이 정밀도를 제공하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. AMAT Raider 는 업계 최고의 이미징 및 정밀 제어 기술을 활용하여 가장 까다로운 제조 환경에서 고급 애플리케이션을 지원합니다. APPLIED MATERIALS Raider는 e-beam 리소그래피 플랫폼에 상주하여 강력한 성능과 향상된 유연성을 제공합니다. 이를 통해 다양한 소자와 기판 소재를 수용하는 다양한 포토레시스트 (photoresist) 특성을 통해 엄격한 프로세스 제어를 할 수 있습니다. Raider의 고해상도 이미징은 오염 없는 작동을 위해 고급 수차 수정, 산란 빔 조명 및 MoM (Moment of Method) 알고리즘의 단단한 정확성을 사용합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Raider (AMAT/APPLIED MATERIALS 레이더) 는 정렬 오류를 줄여 처리량을 극대화하고 오버레이를 최소화하는 높은 처리량 웨이퍼 사전 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 레이저 설계 및 다이 마크 인식 (in-die mark recognition) 을 포함한 여러 가지 정렬 마커 방법을 사용하여 런투런 오버레이 (run-to-run overlay) 정확도를 높일 수 있습니다. 고속 대용량 사전 정렬기는 최대 200mm (8 인치) 의 웨이퍼 크기를 처리할 수 있으며, 빠르고 정확한 로드/언로드를 위한 진공 척 (vacuum chucks) 을 포함합니다. AMAT Raider는 최첨단 UV 및 이미징/명암비 제어 (ICC) 및 LGC (Laser Guided Control) 를 포함한 심층 전자 빔 리소그래피 구성 요소로 구성됩니다. ICC (Advanced Software Algorithm) 는 웨이퍼 왜곡을 감지하고 게이트 전압을 조정하여 보다 균일 한 포토 esist 패턴을 만드는 고급 소프트웨어 알고리즘입니다. LGC는 레이저 유도 스캔 장치를 사용하여 하위 미크론 정확도에 대한 웨이퍼 노출 정렬의 정확성을 보장합니다. APPLIED MATERIALS Raider는 또한 wafer 내 균일성 및 용량 제어를 수정 할 수있는 현장 제어 기계를 제공합니다. 세그먼트 전자기장 (segmented electromagnetic field) 을 활용하여 중요한 프로세스 매개변수 정보를 신속하게 추출하고 e- 빔 열에 실시간 피드백을 제공합니다. Thorlabs의 고급 반사계 (Advanced Reflectometer) 도구는 구워지고 패턴화 된 포토 esist 두께를 모니터링하여 웨이퍼 전체에 균일성을 보장합니다. Raider는 최첨단 반도체 장치 제조를위한 강력한 솔루션입니다. 지능형 소프트웨어 알고리즘과 하이엔드 구성 요소는 석판화 성능을 최적화하고 최첨단 (state-of-the-art) 디바이스의 생산량을 보장합니다.