판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider ECD 310 #9202573

AMAT/APPLIED MATERIALS RAider ECD 310은 고급 리소그래피 응용 프로그램을위한 포토리스트 장비입니다. 이 제품은 장치 제조에 가장 정밀하고 정확하며, 고성능 회로, 메모리, 대규모 집적 회로를 제조하는 데 필요한 정확한 해상도와 중요한 노출 조건을 제공합니다. AMAT Raider ECD 310은 헬륨-카드뮴 엑시머 레이저 공급원에서 방출 된 깊은 자외선 (DUV) 방사선을 사용하여 248-308 nm 범위의 파장 노출을 생성 할 수 있습니다. 최첨단 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에 필요한 강력한 노출을 제공할 수 있습니다. 시스템의 광학은 초점 (focus), 현장 평면도 (field flatness), 원격성 (telecentricity) 과 같은 중요한 이미징 매개변수에서 정확성을 위해 정밀하게 정렬됩니다. 처리량을 극대화하도록 설계된 고속 미러 스캐너 (High-Speed Mirror Scanner) 는 뛰어난 이미지 충실도 및 프레임 간 안정성을 제공합니다. 정교한 스캐너 설계를 통해 최대 915nm (915nm) 의 해상도를 제공하므로 가장 어려운 회로 패턴에 정확하게 초점을 맞출 수 있습니다. 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 기판에 적용된 레이어의 균일한 두께를 보장하며, 정확한 임계 치수 제어를 가능하게 하며, 거의 완벽한 정렬로 완벽한 이미지를 산출합니다. 이 기계에는 포토 esist 및 효과적인 표면 커버리지의 균일 한 적용을 용이하게하는 통합 스프레이 코팅 스테이션 (spray coating station) 이 장착되어 있습니다. 레이저, 노출된 필름, 스캐너를 포함한 1 차 및 2 차 광학 요소는 모두 환경 제어를 위해 단일 챔버로 둘러싸여 있습니다. 이것은 안정적인 열 환경을 제공함으로써 최대 석판화 (lithographic) 정확성을 보장하는 동시에 화학 반응으로 인한 변광성을 최소화한다. APPLIED MATERIALS Raider ECD 310은 대용량 제작 및 중요 설계 어플리케이션에 적합한 도구입니다. 업계 최고의 해상도 (Resolution and Exposure Precision) 를 제공하여 초소형 기하학 (Ultra-Fine Geometry) 을 제작하여 세계 최고의 회로를 생산하는 데 필수적인 도구임을 입증합니다.