판매용 중고 ALTECH eCOAT #9222915

제조사
ALTECH
모델
eCOAT
ID: 9222915
Systems With (5) robots.
ALTECH eCOAT는 포토 마스크 및 기타 포토 esist 처리를 위해 완전한 리소그래피 솔루션을 제공하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 광전자 (photoresist) 시스템은 집적 회로 (integrated circuits) 및 광학 산업을위한 다른 구성 요소와 같은 복잡한 마이크로 일렉트로닉 장치의 생산에 사용된다. 첨단 리소그래피 기술과 정확한 포토리스 (photoresist) 노출 알고리즘으로, ECOAT는 가장 복잡한 응용 프로그램에서도 탁월한 성능을 제공합니다. ALTECH eCOAT는 단일 레시피에서 고정밀 웨이퍼 (wafer) 노출을 수행하도록 설계되어 여러 리소그래피 단계가 필요한 노출을 조정할 수 있습니다. 이 효율성은 생산 시간을 단축하고 수율 결과를 향상시킵니다. 직관적 인 사용자 인터페이스를 통해 고정밀 리소그래피에 필요한 복잡한 포토리스 (photoresist) 매개변수에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. ECOAT 는 고급 조명 시스템 (advanced lumination systems) 을 통합하여 단계적 이동과 노출 데이터를 하나의 통합 플랫폼에 자동으로 수집합니다. 이 시스템은 스텝퍼 모터 제어 단계 (stepper-motor-controlled stage) 를 갖추고 있으며 수동 시스템에서 달성 할 수있는 것보다 높은 수준의 정확도를 제공합니다. 다른 유지 시간, 용량, 오버레이 위치에서 장치의 자동 웨이퍼 (automated wafer) 노출과 결합하면 리소그래픽 프로세스에 대한 제어 및 정확도가 향상됩니다. 알테크 eCOAT (ALTECH eCOAT) 는 자동화된 프로세스 제어에 의해 더욱 향상되어 노출 매개변수가 일관되고 반복 가능하도록 보장합니다. 이를 통해 사용자는 각 웨이퍼가 생성 된 동일한 고품질 리소그래피 (lithography) 결과를 받게 됩니다. ECOAT는 또한 우발적 인 웨이퍼 노출을 방지하는 가벼운 차폐 챔버 (light-shielding chamber) 및 펌웨어 제어 (firmware control) 를 포함한 안전 기능으로 설계되었습니다. ALTECH eCOAT 머신은 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 석판 솔루션을 찾는 사용자에게 적합한 선택입니다. 고급 석판화 기능 및 자동 노출 제어는 생산 속도와 정확성을 모두 제공합니다. 직관적인 디자인, 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스, 광범위한 기능 목록으로, ECOAT는 고급 photomask 및 photoresist 응용 프로그램 모두에 이상적인 선택입니다.
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