판매용 중고 ALLTEQ L1600 #293748752

ALLTEQ L1600은 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 고정밀 자동 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 소형 설치 공간으로 설계되었으며 웨이퍼 스캐닝 (wafer scanning), 5 배 감소 스캔, 다크 필드 스캐닝 및 4 배 감소 이미징 리소그래피 (lithography) 와 같은 수많은 응용 프로그램을위한 다양한 오프 축 조명 도구를 제공합니다. L1600 장치는 최첨단 CCD 디지털 이미징 머신을 사용하여 빠른 속도와 정확도로 이미지 데이터 (image data) 를 수집할 수 있습니다. 이 도구에는 다양한 리소그래피 패턴, 프로젝트 모드, 소프트웨어 제어 기능에 대한 옵션뿐만 아니라 전체 웨이퍼 위치 모니터링 (wafer position monitoring), 온도 제어 (temperature control) 및 자동 초점 (autofocus) 기능도 포함되어 있습니다. 이 자산은 1/4 ~ 4에 이르는 다양한 노출 해상도와 풀 필드, 2m 동적 초점 깊이 (DOF) 제어를 제공합니다. 또한, 이 모델은 고대비 이미징 및 고해상도, 고해상도 에칭 기능을 제공하여 6 인치 웨이퍼 생산 프로세스를 용이하게합니다. 이 장비에는 4 개의 대형 조리개 설계 목표가 있으며, 다양한 파장에 대해 최대 0.3 ° m DOF를 제공 할 수 있습니다. 또한, 시스템은 여러 이미지 프로세싱 및 이미지 강화 (image intensification) 알고리즘과 완벽하게 호환되며, 여러 아트 파일과 다중 노출 헤드를 동시에 제어할 수 있습니다. 마지막으로, ALLTEQ L1600은 화학 원자로 및 관련 램프를 자동으로 교정 할 수있는 고급 교정 (advanced calibration) 기술을 도입하여 신속한 프로세스 최적화를 지원합니다. 통합 스캐닝 장치 (Integrated Scanning Unit) 는 프로세스 전반에 걸쳐 파장 이하의 정밀도를 위한 실시간 초점 모니터링을 제공하며, 생산 과정에서 귀중한 시간과 자원을 절약합니다.