판매용 중고 ALLIED SIGNAL ElectronCure 30X-150-A-II #167086
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ID: 167086
E-beam photoresist curing system, non-operational
Electron beam exposure system capable of exposing large area substrates uniformly at precision dose for curing coatings and hardening photoresist
Variable beam voltage 0-30 KV in 100V steps
Computer controlled, fully automatic
3" to 6" round wafers
4" x 4" square plates
Operates at 55 millitorr vacuum
De-installed.
ALLIED SIGNAL ElectronCure 30X-150-A-II 포토 esist 장비는 다중 계층 보드, IC 패키지 및 납 프레임 주문을 포함한 전자 포장 기판의 정밀한 열 처리를 위해 설계되었습니다. 더 나은 결과를 얻기 위해, 정확한 온도 및 노출 설정과 결합 된 독점 수지를 기반으로 한 고급 광화학을 활용합니다. 시스템에는 최대 150 ° C의 가열 및 냉각 옵션을 모두 갖춘 양면 노출 기능이 있습니다. 기판에서 표준 이미지와 사용자 정의 이미지를 모두 제작할 수 있으며, 이 기능은 2 mil (50 µm) 정도 작습니다. 이 기계에는 고급 PC 기반 패턴 생성기, 하프톤 마스크, 이진 마스크, 라인 아트 설정과 같은 고급 이미징 장치가 장착되어 있습니다. 고급 직접 이미징 (Direct Imaging) 기술을 통해 노출 시간과 강도를 매우 정확하게 조정할 수 있습니다. 온도 제어 장치 (Temperature Control Unit) 는 기판의 양쪽에서 정확한 온도 범위를 유지하고 노출 프로세스를 열적으로 제어하여 두께, 텍스처링, 피쳐가 다양한 기판에서 우수한 결과를 생성합니다. ElectronCure 30X-150-A-II는 복잡한 회로 보드 및 패키지를 위한 뛰어난 해상도와 HD 이미징 기능을 제공합니다. 이 기계는 자동 반복 성, 균일 한 노출 및 사용하기 쉬운 운영자 컨트롤과 같은 고급 다양성을 제공합니다. 전체 기계는 안정적이고 반복 가능한 노출 및 장기 안정성을 위해 설계되었습니다. 기계의 또 다른 중요한 특징은 아웃가스에 대한 저항입니다. 출력 (Outgassing) 은 IC 패키지 및 리드 프레임과 같은 반도체 컴포넌트를 처리할 때 발생하는 일반적인 문제입니다. 아웃게이스는 포토리스 (photoresist) 선 정의의 품질에 영향을 줄 수 있으며 결함이있는 피쳐가 될 수 있습니다. ALLIED SIGNAL ElectronCure 30X-150-A-II는 높은 신뢰성을 위해 낮은 가스전 속도를 제공합니다. 전반적으로 강력하고 안정적인 ElectronCure 30X-150-A-II 포토 esist 도구는 고정밀 열 처리가 필요한 상업용, 산업 및 연구 응용 프로그램에 이상적입니다. 다양한 노출 속도 (Exposure Speed) 와 온도 (Temperature) 를 제공하여 최상의 해상도와 정확도를 제공합니다. 이 기계는 또한 우수한 프로세스 반복성을 제공하며, 안정적인 결과를 얻기 위해 가스를 초과하지 않습니다.
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