판매용 중고 AIO / RITE TRACK SVG 90 #293775031
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ID: 293775031
웨이퍼 크기: 6"
Coater / Developer system, 6"
FTC Cabinet
Main power GP Cabinet
SVG GUI Rack controller cabinet
SVG Chemical cabinet
Chemical waste tank
Wafer centering module
(2) Coat modules
(2) Develop modules
(2) Load ports
HMDS Module
(3) Bake oven modules
(4) Chill plate modules
Qty / Description
(16) / Shuttle bearings, SVG, linear 200-595
(4) / Belt timing SVG Dev dispenses ARM 6B16-37
(3) / Tebr cables chain,4MM Pitch 1.2O PD
(4) / Cable chains, 103 Pitch (Belt) 204-020
(2) / Spin station boards
(1) / Thermalogic temp control board / 121-180
(1) / Shuttle interface board 99-80267-01R
(1) / Assy, thermo cutoff 99-23226-01
(1) / Motor, random shuttle drive 99-45467-01
(1) / Motor gear harness 99-47222-01
(1) / Marathon motor mod 5KH32GNB811AX
(1) / Motor, spindle, 90S air assist 27-66286-01
(1) / Sensor, cassette
(3) / RTD, 3 Wire 1/8 sheaths
(5) / Optical sensor transmissive 0.512 (13MM" Z3204-ND
(4) / PCB Assy, 80158 Single sensors SVG 99-80158-01
(1) / Cybor pump controller 506A
(2) / Hot bake temp controllers
(4) / 24 VDC Solenoid 114-1003
(4) / 24 VDC Solenoid 50 PSI 99-38539-01
(3) / Sprng, tors .048X270DEG 2.5IN LBS 211-150
(4) / Exhaust tube poly-bake 9.5 13287-01
(2) / Chuck, 90, Coater, 8"
(2) / 21190-01
(4) / Kit, flowmeters 17-76280-01
(2) / Nozzles 2257-01
(2) / Cassette end station vacuum blades, short
(3) / PIN, Centering devices 20770-01
(4) / PIN, Supporting 20769-01
(2) / Cassette shuttle vacuum blades, LONG 99-41467-02
(19) / Fuses 500 MA F2450-ND
(1) / Vacuum bake thermocouple 121-208
(2) / Top side EBR Motor harness tebr 99-39825-01
(3) / Cybor 5116 pumps
(2) / Procon pumps 105C240F51BD
(1) / Flow meter 65MM EBR 1350GAL1AKFF1AAA
(8) / Boat, entegris (8") K198-80MB-97C02
(4) / Solenoid valve assembly 99-23062-01
(3) / Vacuum solenoid, 24VDC 114-088
(4) / KIT, Humphrey valves, 4WAY, 2POS, 24VDC 17-77246-01
(1) / Power supply board 99-80268
(4) / Cable chains, 88 pitch 204-021
(3) / 24 VDC Solenoid 2WAY VALVE 114-102
(1) / SCR Power controller
(1) / Hygroclip HC2-S standard climate probe
(1) / Spindle motor controller 99-38892-01
(1) / Spindle motor controller 99-38891-01
(2) / Serial arm full assemblies 99-38154-02
(2) / Motors DC Servo 75V 1.5A 112-083
(2) / Pistons 203-148
(1) / Keyboard 90S CES 85-48094-01U
(1) / Chamber LID VP/VB/HPO
(1) / Rotronic humidity transmitter
(1) / Assy, LCD Display 99-41844-01
(1) / PCB Assy,vacuum sensor 99-80170-01
(6) / Stations CPU BD 80166F.
AIO/RITE TRACK SVG 90은 반도체 제조 산업에서 중요한 역할을하는 정교한 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은" 웨이퍼' 기판 에 정밀 하고 신뢰 할 만한 광도소재 의 무늬 를 제공 하도록 설계 되어 있으며, 높은 정확도 와 해상도 로 복잡 한 반도체 장치 를 제작 할 수 있게 해 준다. AIO SVG 90은 다양한 고급 기술과 기능을 통합하여 반도체 제조와 관련된 복잡한 리소그래피 프로세스를 지원합니다. RITE TRACK SVG 90 장치의 주요 구성 요소 중 하나는 트랙 모듈이며, 이 모듈은 웨이퍼 표면의 포토 esist 재료 분배, 코팅, 베이킹 및 개발을 담당합니다. 트랙 모듈에는 여러 개의 스핀 코터 (spin coater) 가 장착되어 있으며, 다양한 두께를 가진 포토 esist 필름의 균일하고 제어 된 증착이 가능합니다. 이 기계에는 코팅 된 웨이퍼를 굽고 냉각하기위한 핫 플레이트 (hot plate) 와 차가운 플레이트 (chill plate) 가 포함되어 있어 최적의 필름 특성과 준수를 보장합니다. SVG 90 도구는 고급 자동화 및 로봇 기술 (Robotics Technology) 을 통합하여 포토리스 처리 워크플로를 능률화하고 생산 효율성을 극대화합니다. 자산에는 고정밀 정렬 (high-precision alignment) 및 위치 지정 (positioning) 메커니즘이 장착되어 있어 여러 리소그래피 단계를 정확하게 오버레이 및 등록할 수 있습니다. 이러한 자동화 수준은 제조 공정의 인적 오류 (human error) 와 변동성 (variability) 을 줄여 생산량 및 장치 성능을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 또한, AIO/RITE TRACK SVG 90 모델은 사용자가 리소그래피 프로세스의 다양한 매개 변수를 프로그래밍 및 제어 할 수있는 포괄적 인 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 스핀 속도 (spin speed), 분배 볼륨 (dispense volume), 베이크 온도 (bake temperature) 와 같은 중요한 프로세스 변수의 실시간 모니터링 및 조정을 통해 최적의 photoresist 패턴화 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 장비는 품질 관리 및 추적 능력을 위해 상세한 프로세스 보고서 (process report) 및 데이터 로그 (data log) 를 생성할 수 있습니다. 성능 측면에서 볼 때, AIO SVG 90 시스템은 높은 처리량을 제공하여, 대용량 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 처리할 수 있습니다. 이 장치는 대용량 반도체 생산 설비의 까다로운 요구사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 즉, 품질 표준 (Quality Standard) 과 생산 목표 (Production Target) 를 충족하기 위해 엄격한 프로세스 제어 및 일관성이 필수적입니다. RITE TRACK SVG 90은 서브미크론 기능의 고해상도 패턴을 달성하여 복잡한 기하학으로 고급 반도체 장치를 제작할 수 있습니다. 전반적으로, SVG 90은 반도체 제조업체가 최첨단 반도체 소자의 생산을 위해 정확하고 신뢰할 수있는 포토 esist 소재의 패턴을 달성 할 수있는 최첨단 포토 esist 머신입니다. 고급 기술, 자동화 기능, 성능 특성을 갖춘 AIO/RITE TRACK SVG 90은 반도체 기술과 혁신을 지속적으로 발전시키는 데 중요한 역할을 합니다.
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