판매용 중고 AEROTON Aero 886 #9273222

에어로 톤 에어로 886 (AEROTON Aero 886) 은 반도체 및 기타 집적 회로의 생산 과정에서 사망 에칭에 친환경적인 솔루션을 제공하는 포토리스 (photoresist) 장비이다. 이 "시스템 '은 감광 물질 의 얇은 층 을" 기판' 에 적용 한 다음 자외선 광원 으로 조사 하는 "포토레시스트 '기술 을 기초 로 한다. 에어로 886 (Aero 886) 의 경우, 포토 esist 기술은 질소가 채워진 챔버에서 수행되어 산화 손상을 줄입니다. 이 장치는 챔버 내부에 배치 된 웨이퍼 캐리어 세트를 사용합니다. "웨이퍼 '는 약실 로 옮겨지고, 산화 수준 을 낮추기 위해 질소" 가스' 를 주입 한다. 필요한 진공 수준에 도달하면 "차단 레이어 (blocking layer)" 가 웨이퍼에 적용되어 고강도 초보라광원에 노출됩니다. 이것은 프로세스의 에칭 단계입니다. 에칭 과정에서 포토레스 레이어는 자외선 (UV light) 에 노출되어 웨이퍼 (wafer) 표면에 패턴화 된 이미지를 생성합니다. 이것은 에칭 (etching) 전에 시스템에 프로그래밍되는 설계 정보를 포함하는 특수 템플릿을 사용하여 달성됩니다. 자외선 (UV light) 이 웨이퍼 위를 지나가면 템플릿 패턴에 따라 photoresist 레이어가 노출되거나 차단됩니다. 그런 다음, 원하는 설계 패턴 을 기판 에 에칭 하여 "마이크로마아킹 '으로 알려진" 미니스큐' 선 과 점 들 의 훌륭 한 패턴 을 만들어 낸다. 일단 원하는 "패턴 '을 식각 시키면, 그 도구 는" 웨이퍼' 표면 을 가로질러 작은 양 의 질소 "가스 '를 통과 시켜 광저항 층 을 방해 할 수 있는 여분 의 물질 을 깨끗 이 한다. 이를 통해 대체 포토레지스트 레이어가 적용되면, 새로운 패턴은 계속 (tact) 유지됩니다. 전반적으로 AEROTON Aero 886 (AEROTON Aero 886) 은 다양한 응용 프로그램의 기판으로 미세 패턴을 에칭하기위한 효과적이고 효율적인 솔루션입니다. 질소가 채워진 챔버는 산화로 인한 손상을 제거하는 데 도움이되고, 고강도 자외선 (UV light) 은 정확한 마이크로 마킹 (micromarking) 을 생성하여 정밀 에칭 및 고품질 최종 제품을 제공합니다.