판매용 중고 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-802 #9358969

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-802는 스텝 앤 리피트 포토 사이스트와 같은 박막 폴리머 재료의 고효율 리소그래피 처리를 제공하기 위해 특별히 설계된 포토 esist 시스템입니다. 이 장치는 매우 정확한 노출 제어를 통해 박막 감광 폴리머를 증착 할 수 있으며, 광범위한 스핀 코팅 속도 (spin-coating speed) 와 트랙 각도를 제공 할 수 있습니다. 또한 ASSI SV-802 머신은 photoresist 패턴, 패턴 복제, 웨이퍼 전송과 같은 복제 프로세스를 지원합니다. 이 도구의 고효율 리소그래피 프로세스는 정밀 구성 요소 레벨 스핀 코터에 의해 달성됩니다. 이 스핀 코터 (spin-coater) 는 한 번에 최대 4 개의 기판을 섭취 할 수 있으며 균일 한 스핀 코팅을위한 대용량 정밀 기어 구동 모터를 장착하여 정밀 노출 제어를 제공 할 수 있습니다. 스핀 코터는 또한 반복 가능하고 일관된 코팅 프로세스를 보장하기 위해 현대 PLC에 의해 제어됩니다. 자산은 또한 특성 및 코트 두께가 다른 여러 중합체를 증착 할 수 있습니다. ADVANCED SPIN Model INC SV-802의 고급 이미지 제어 게이트는 최대 200nm의 해상도로 기판을 정확하게 처리 할 수있는 반면, 트랙 각도는 측면당 0 ~ 180 ° 사이에서 조정할 수 있습니다. 또한 장비의 다중 노출 소스, 정밀 카운터, 에지 등록 장치 (Edge Registration Device) 는 높은 수준의 정확성, 반복 가능성 및 속도를 제공합니다. SV-802 시스템에는 백사이드 프로세스 (back-side process) 또는 기판의 부분 적용 범위에 사용할 수있는 독특한 백사이드 홍수 (back-side flood) 노출 장치가 장착되어 있습니다. 또한 기판의 원하는 패턴을 정확하게 정렬 (Align) 하고 해결할 수 있습니다. ADVANCED SPIN Machine INC/ASSI SV-802의 고급 기능으로 인해 박막 리소그래피 제작 프로세스 (저항 코팅, 복제) 의 다양한 단계에 완벽한 선택이 이루어졌습니다. 또한 반도체 제작, 유기 및 무기 박막 생산, 액정 장치 생산 등 다양한 프로세스에 이상적인 옵션입니다 (영문). 다양한 기능과 정확하고 정확한 결과를 제공하는 ASSI SV-802 (ASSI SV-802) 는 강력하고 신뢰할 수 있는 포토레지스트 도구입니다.