판매용 중고 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9397636

ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702
ID: 9397636
Spin Rinse Dryer (SRD).
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 Photoresist System은 대용량 웨이퍼 사진 촬영 및 스핀 코팅 프로세스를 위해 특별히 설계된 고급 산업용 포토리스트 장치입니다. 이 기계는 다양한 스푼 코팅 필름, 기판, 재료에 대한 정밀도, 고해상도 결과를 제공 할 수 있습니다. ASSI SV-702는 기판 중앙 마운트를 위해 최대 8 개의 스피너 유닛과 2 개의 정렬 노치를 수용 할 수있는 기본 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이 플랫폼은 터치 스크린 디스플레이에 의해 제어되므로 정확한 프로그램 설정을 허용합니다. 플랫폼의 스핀 압력 (spin pressure) 과 속도 (speed) 는 다양한 수준으로 조정할 수 있으며, 플랫폼은 설치 높이가 낮아 광범위한 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에 적합합니다. 이 도구에는 정확한 대용량 스핀 코팅 프로세스를 위해 다양한 도구가 제공됩니다. 여기에는 자동 주사기 디맨더, 적재 된 주사기 회전 목마, 숫자 패들 및 인체 공학적으로 설계된 스피너 유닛이 포함됩니다. 주사기 "디맨더 '는 필요 한 기판 과" 스핀' 의 정확 한 수 를 선택 할 수 있게 해 주며, 주사기 "캐러셀 '에는 여러 가지" 주사기' 가 들어 있어서 동일 한 형태 의 "포토레지스트 '를 사용 할 수 있게 해 준다. 한편, 숫자 패들 (numeric paddle) 은 기판 동작의 속도를 정확하게 제어하고 프로세스 시간에 대한 피드백을 제공합니다. 에셋에는 스핀 챔버 (spin-chamber), 마스크 로더 (mask loader) 및 디지털 제어 타이머 (digital control timer) 와 같은 강력한 포토리스 처리 도구도 제공됩니다. 스핀 챔버 (spin-chamber) 는 포토레시스트 (photoresist) 처리를 위해 깨끗한 환경을 제공하여 빠른 기판 로딩 및 언로드를 허용하고 포토레시스트를 환경으로부터 보호합니다. 마스크 로더를 사용하면 기판에 포토레지스트 (photoresist) 를 정확하고 균일하게 로드할 수 있으며, 실행당 여러 기판을 처리 할 수 있습니다. 디지털 제어 타이머 (Digital Control Timer) 는 photoresist 처리 시간을 실시간으로 모니터링하여 사용자가 여러 실행에 대해 동일한 설정을 반복하거나 시퀀스할 수 있도록 합니다. 이러한 기능을 함께 사용하면 ADVANCED SPIN Model INC SV-702 Photoresist Equipment가 다양한 사진 분석 프로세스에 대한 정확한 대용량 결과를 제공 할 수 있습니다. 이 시스템은 빠르고, 유연하며, 사용하기 쉽고, 웨이퍼 패브, 파운드리, 통합 장치 제조업체 및 대학에 이상적입니다.
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