판매용 중고 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9394380

ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702
ID: 9394380
빈티지: 2012
Spin Rinse Dryers (SRD) 2012 vintage.
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702는 비용 효율적이고 매우 정확한 포토 세스트 시스템으로 스핀 코팅 폴리머에 고급 스피너 기술을 사용하고 반도체, MEMS 및 기타 광석기 공정에 대한 노출 프로세스를 개발합니다. ASSI SV-702 는 구성 요소와 구성의 고유한 조합으로, Clean Room 또는 산업 제조 환경에서 성능을 극대화합니다. 4 단계 스핀 코터, 4 단계 개발자 및 특허를받은 LiftBase를 포함하여 ADVANCED SPIN Unit INC SV-702는 다양한 포토 esist 코팅 및 처리 솔루션을 개발하는 데 유연성과 제어를 제공합니다. SV-702 (SV-702) 의 적응형 회전 (Adaptive spinning) 기술을 통해 사용자는 하나의 원활한 프로세스에서 기판 한 계층에서 다른 계층으로 솔루션을 전송할 수 있습니다. 리프트 베이스 (LiftBase) 는 일관된 균일성과 손쉬운 작동을 제공하며, 균일 한 노출이 가능하며, 결함을 줄이고, 중요한 프로세스 흐름을 최적화합니다. ADVANCED SPIN Machine INC/ASSI SV-702는 또한 균일 한 포토 esist 응용 프로그램 및 종점 감지를 위해 완전 자동화 된 진공 시스템으로 설계되었습니다. 이것은 스트레이션이나 구슬 없이도 정확한 필름 증착을 보장하며, 처리량과 수익률을 증가시킵니다. 조정 가능한 진공 매개변수 (adjustable vacuum parameters) 를 사용하면 여러 처리량에 대해 다양한 스핀 속도를 갖는 다른 레이어를 적용할 수 있습니다. ASSI SV-702 (ASSI SV-702) 의 고급 스핀 (spin) 기술은 단일 레이어에서 여러 레이어의 조합에 이르기까지 다양한 레이어에서 다양한 포토리스 (photoresist) 재료를 수용하도록 설계되었습니다. 이 툴은 또한 노출 프로세스 (Exposure Process) 및 처리 매개변수 (Processing Parameter) 를 위한 프로그래밍 가능한 기능을 제공하며, 사용자의 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 ADVANCED SPIN Asset INC SV-702 (고급 SPIN Asset INC SV-702) 는 품질 관리 및 검증을 위해 photoresist 응용 프로그램 및 프로덕션 프로세스의 각 단계를 모니터링, 로그 및 기록하는 고급 추적 가능 모델로 설계되었습니다. 여기에는 CDP (무중단 프로세스 제어) 를 위한 실시간 데이터 획득 및 분석 기능, 각 단계에서 최적의 프로세스 매개 변수를 보장하기 위한 자동 검증 검사 (Qualification Check) 등이 포함됩니다. 추적 능력 장비 (Traceability Equipment) 를 사용하면 프로세스 변동성을 최소화하고, 수율을 최대화하고, 산업 규모로 생산량을 늘릴 수 있습니다. 전반적으로 ADVANCED SPIN SYSTEMS INCSV-702는 photoresist 코팅 및 처리 요구에 이상적인 효율적이고 신뢰할 수있는 시스템입니다. 이 제품은 클린 룸 (Clearroom) 또는 산업 생산 환경에서 대용량 생산 및 최대 성능을 제공하도록 설계되었으며, 일관되고 정확한 포토레지스트 (photoresist) 솔루션을 제공합니다.
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