판매용 중고 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9242165

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702는 전자 부품의 효율적이고 정확한 처리를 위해 설계된 포토리스 시스템입니다. 이 장치는 멀티 존 (multi-zone), 3 단계 스핀 프로세스를 사용하여 광범위한 기능과 기판에 걸쳐 균일 한 포토 esist 필름을 안정적이고 반복 가능하게 제작할 수 있습니다. 18mm에서 600mm 웨이퍼까지 처리 할 수 있습니다. ASSI SV-702 (ASSI SV-702) 는 정밀 스핀 머신과 정적 바이어싱 전극을 결합하여 기판 및 기능을 처리하는 독특한 방법을 제공합니다. 바이어싱 전극은 균일 한 스핀 속도 (spin speed) 와 정적 전기장 (electric field) 을 허용하여 가장 좋은 스핀 균일성을 허용합니다. 이 도구는 최고 수준의 처리량 (throughput) 및 정확도 (exposure time) 를 스핀 패턴의 1 초 미만, 높은 균일성 및 반복 가능성으로 제공하도록 설계되었습니다. 에셋은 양성 및 음성 포토 esist 재료와 함께 사용할 수 있습니다. 가열 된 레지스트 챔버 (resist chamber) 를 사용하여, 포토리스 스트 물질을 가열하여 기질에 균등하게 적용시킨다. 가열된 챔버 (heated chamber) 는 고른 온도 프로파일을 보장하여 일관되고 균일한 스핀 성능을 제공합니다. 이렇게 하면 드리프트가 제거되고 프로세스의 오류가 제거됩니다. ADVANCED SPIN Model INC SV-702는 공압 드라이브 장비를 사용하여 웨이퍼를 회전시키고 균일 한 필름 두께와 피쳐 배치를 보장합니다. 이 시스템은 또한 스핀들 공압 장치 (spindle pneumatics unit) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 제어 된 저항 응용 프로그램 속도가 가능하므로 높은 수준의 필름 제어가 가능합니다. 또한 자동화된 프로세스 제어 (automated process control) 기능을 통해 운영자가 실시간 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 자세한 포스트 프로세싱 분석을 허용하는 다양한 데이터 로깅 기능을 제공합니다. 또한 SV-702에는 최종 제품을 즉시 검사할 수 있는 통합 비전 (vision) 툴이 포함되어 있습니다. ADVANCED SPIN Asset INC/ASSI SV-702는 광범위한 패브릭을 안정적이고 정확하게 처리 할 수있는 올인원 포토레스 모델입니다. 정밀 스핀 장비, 정적 바이어싱 전극, 가열 저항 챔버, 공압 구동 시스템, 스핀들 공압 및 자동 공정 제어 (automated process control) 는 균일 한 필름 배치 및 업계에서 타의 추종을 불허하는 정확성과 반복성 수준을 허용합니다.