판매용 중고 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 M1 #293657910

ID: 293657910
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2019
Spin Rinse Dryer (SRD), 6" 2019 vintage.
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 M1은 반도체 기판에서 박막 광 주의자의 정확하고 정확한 증착을 위해 설계된 고급 포토 esist 스핀 시스템입니다. 이 스핀 유닛 (Spin Unit) 은 벌크 포토리스 연주자를위한 대형 액체 컨테이너와 카드 기반 컨트롤 머신 (Control Machine) 을 갖추고 있으며, 수작업 또는 오차없이 기판에서 포토리스 연주자의 얇은 필름을 빠르고 정확하게 생성 할 수 있습니다. ASSI SV-702 M1 (ASSI SV-702 M1) 은 세라믹 척 (Ceramic chuck) 에 최대 8 개의 기판을 동시에 수용 할 수 있으며, 일반적으로 사용되는 광범위한 포토 esist 매체와 함께 반복 가능하고 신뢰할 수있는 박막 증착을 제공합니다. 모터 및 지원 하드웨어 장치는 소음이 적고, 효율적인 작동이 가능하도록 설계 및 테스트되었으며, 다중 가변 속도 제어 설정 (multi-variable speed control settings) 을 제공하며, 각 기판에 사용 가능하므로 정확한 코팅 두께와 균일 한 스핀닝이 가능합니다. 포토리스 스트 증착 도구 (photoresist deposition tool) 에는 정밀 박막 증착을 돕기 위해 다양한 주변 도구가 제공됩니다. 신중하게 보정 된 온도 제어는 원하는 기판 성능에 대한 정확한 photoresist 점도를 보장합니다. 열 조절 증기 및 기질 건조 자산은 다양한 응용에 최적화 된 건조 시간을 제공 할 수있다. 이 모델에는 더 높은 스핀 속도 (spin speed) 와 향상된 필름 균일 성을 제공하는 정확한 바늘 공기 흐름 장비도 포함되어 있습니다. 자동 도량형 소프트웨어 (Automated metrology software) 가 사전 설치되어 있어 photoresist 증착 시 필름 두께 및 기타 주요 매개변수를 빠르고 쉽게 모니터링할 수 있습니다. ADVANCED SPIN System INC SV-702 M1은 또한 다양한 사용자 정의 매개 변수를 통해 안전 연동 (Safety Interlock) 지원을 제공하며, 사용자가 부적절한 사용 또는 잠재적 위험 조건에 대해 경고합니다. 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 스핀 속도 (spin speed), 온도 (temperature), 공기 흐름 (air flow) 과 같은 다양한 박막 증착 매개변수를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이동식 정렬 지그는 기판 배치를 단순화하여 전체 스핀 단위 정확도 및 정밀도를 향상시킵니다. 우수한 기판 처리를 위해, SV-702 M1은 다재다능하고 신뢰할 수있는 포토리스 스핀 머신 (photoresist spin machine) 으로, 안전한 작동과 안정적인 필름 증착을 제공하면서 최고 수준의 정확성과 정밀도를 보장하도록 설계되었습니다. 이 도구를 사용하여, 사용자는 수동 작업 없이 다양한 기판에서 반복 가능한 성능으로 박막 포토리스 연주자 (Thin Film Photoresist) 를 쉽게 만들 수 있습니다.
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