판매용 중고 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SH-801 #9216766

ID: 9216766
빈티지: 2012
Spin Rinse Dryer (SRD) 2012 vintage.
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SH-801은 포토 esist 재료의 스핀 코팅을위한 최첨단 포토 esist 시스템입니다. 폴리메틸 메타 크릴 레이트 (PMMA), 폴리 하이드 록시 및 폴리 실레이트 기반 광 분해제를 기질에 적용하기 위해 설계된다. 이 단위는 광석판 처리 (photolithography process) 에 이상적이며, 기판에 복잡하고 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. ASSI SH-801은 두께가 균일하고 저항력이 균일한 고품질 박막 포토레시스트 레이어를 생성 할 수있는 완전 자동화 된 기계입니다. 디지털 디스플레이 (digital display) 와 디지털 카운터 (digital counter) 를 통해 정확하고 반복 가능한 스핀 속도 설정을 제공합니다. 자동 용량 기능을 사용하면 수동 개입없이 포토 esist를 정확하게 처리 할 수 있습니다. 이 도구는 두 가지 주요 구성 요소 (마이크로 프로세서 제어 스핀 컨트롤러와 스핀 코터 어셈블리) 로 구성됩니다. 스핀 컨트롤러에는 고성능 토크 (torque) 와 스피드 모터 (speed motor) 가 포함되어 있어 스핀 코팅 프로세스 전체에서 정확하고 반복 가능한 스핀 속도를 보장합니다. 스핀 코터 (spin coater) 어셈블리는 포토 esist를 적용할 기판에 단단히 부착되어야합니다. 에셋은 수동 또는 자동 모드로 작동 할 수 있습니다. 수동 (Manual) 모드에서는 원하는 스핀 속도 (Spin Speed) 와 용량 속도 (Dosing Rate) 와 스피너가 주기하는 시간을 설정할 수 있습니다. 자동 (automatic) 모드에서 모델은 포토레지스트 레이어의 최적의 스핀 속도 (spin speed) 와 두께 (thickness) 를 달성하는 데 필요한 시간을 자체 계산할 수 있습니다. ADVANCED SPIN Equipment INC SH-801은 또한 정확한 온도 조절을 통해 설계되었으며, 전체 기판에 균일 한 포토 esist 코팅을 보장합니다. 온도는 조절이 가능하며, 시스템에는 진공 센서 (vacuum sensor) 가 장착되어 있어 온도를 정확하게 측정하고 조정할 수 있습니다. SH-801은 다양한 응용 분야를 갖춘 효율적이고 신뢰할 수있는 포토 esist 장치입니다. 사용하기가 쉽고, 두께와 저항력이 일관된 기판에 복잡하고 복잡한 패턴 (pattern) 을 만드는 데 사용될 수 있습니다. 마이크로전자, 광학, 반도체, 데이터 스토리지 장치 등 다양한 업종에서 사용하기에 적합합니다.
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