판매용 중고 KLA / TENCOR STARlight SL437 #9115268

KLA/TENCOR STARlIGHT SL437은 탁월한 속도로 정확하고 안정적인 이미지를 수행하도록 설계된 고급, 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 다양한 디지털 이미지 처리 (digital imaging) 옵션과 강력한 이미지 분석 기능을 갖춘 고급 광학 장치 (advanced optical unit) 를 사용하여 검사 프로세스의 정확성과 신뢰성을 보장합니다. SL437 의 모듈식 설계를 통해 각 고객의 요구 사항을 유연하게 처리할 수 있습니다. 이 기계의 이미징 기능은 더블 클래드 레이저 (double-clad laser) 와 25nm 슬릿 조리개 광학 (optics) 을 기반으로 웨이퍼 및 마스크 검사를 위해 가장 큰 시야를 볼 수 있습니다. SL437의 이미징 센서는 8 메가 픽셀 CMOS 풀 프레임 이미징 센서와 1.8 메가 픽셀 16 비트 컬러 CCD 이미징 센서를 기반으로합니다. 이를 통해 SL437 은 초당 최대 320 개의 이미지로 매우 정확한 검사를 수행할 수 있습니다. SL437 의 고급 이미지 분석 (Advanced Image Analysis) 기능을 통해 신뢰성이 높은 결함을 감지하고 지역화할 수 있습니다. 결함 감지 알고리즘은 결함의 고급 의사 결정 분석에 기반을두고 있으며, 특히 정확하고 신뢰할 수있는 검출이 가능합니다. 이 도구에는 강력한 패턴 일치 (pattern matching) 기능이 포함되어 있으며, 사용자가 이전 패턴을 사용하여 브리징 (bridging) 이나 열기 (open) 와 같은 특정 카테고리의 결함을 감지할 수 있습니다. SL437 은 확장 기능과 제로 보정 기능을 갖춘 멀티 시프트 작업을 위해 설계되었습니다. 스케일링 설정을 사용하면 검사 매개변수를 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 로 자동 조정하여 반복 가능한 검사를 수행할 수 있습니다. 또한 가상 샘플 방식을 사용하여 SL437 자산 사용자는 단일 이미지에서 전체 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 를 조사하여 신속한 결함 감지 프로세스를 수행할 수 있습니다. KLA STARlight SL437 모델은 웨이퍼 및 마스크 검사를 위한 고성능 및 신뢰성을 제공합니다. 디지털 이미징을 갖춘 고급 광학 장비 (Optical Equipment with Digital Imaging) 를 활용하면 초당 최대 320 개의 이미지로 검사를 수행할 수 있으며, 이는 최신 생산 설비의 처리량과 쉽게 일치할 수 있습니다. 이미지 분석 알고리즘은 강력한 패턴 일치 (pattern matching) 및 결함 로컬라이제이션 기능을 제공합니다. 또한 SL437 은 확장 기능 및 가상 샘플 기능을 내장하여 검사 성능을 멀티 시프트 (multi-shift) 작업으로 신속하게 확장할 수 있습니다.