판매용 중고 KLA / TENCOR / INSPEX TCP 8530M #136451

KLA/TENCOR/INSPEX TCP 8530M은 자동화된 검사 프로세스의 정확성과 성능을 극대화하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 독점 소프트웨어, 하드웨어, 광학 및 탐지기 세트로 구성됩니다. 이것은 반도체 회로 마스크 또는 웨이퍼 결함 검출 (wafer defect detection) 에 활용할 수있는 혁신적인 검사 장치입니다. KLA TCP 8530M 마스크/웨이퍼 검사기는 4개의 광 도구 구성을 사용하여 고정밀 검사를 제공하며, 검사 결과의 신뢰성을 향상시키도록 설계되었습니다. 4 가지 자산 구성에는 2 다이 어레이, 3 다이 어레이, 5 다이 어레이 및 9 다이 어레이가 포함됩니다. 각 구성에는 일련의 고정밀 목표, 스팟 패턴, 레이저 스팟 조명기가 사용됩니다. 또한, 이 모델에는 4-CCD 이미징 어레이와 데이터 처리 장치가 장착되어 있습니다. TENCOR TCP 8530M은 고급 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 결함 구조를 정확하게 분석합니다. 이 알고리즘은 임의의 소음 때문에 발생할 수있는 거짓 (false positive) 을 제거 할 수 있으며, 불필요한 마스크 및 웨이퍼 이미지 재 작업을 방지합니다. 이 장비 는 여러 층 의 "회로 '를 포함 할 수 있는" 마스크' 를 검사 할 때 특히 "반도체 '회로" 마스크' 산업 에 유용 하다. TCP 8530M 은 고속 파이프라인 아키텍처 (Pipeline Architecture) 를 갖추고 있어 동작 제어를 최소화하면서 여러 시야를 동시에 검사할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 긁힘, 얇은 선 (thin line) 및 기타 어려운 결함을 감지하여 복잡한 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스에 적합합니다. 다른 기능으로는 고정밀 입사 각도 뷰 (high-precision incident angle view) 와 연산자 조정 가능한 초점 (operator-adjustable focus) 이 있습니다. INSPEX TCP 8530M은 반도체 제작 프로세스의 웨이퍼 특성화, 최적화 및 제어용 레이어에 사용하도록 설계되었습니다. 이 장치는 또한 칩 디자이너 (chip designer) 에게 이상적인 선택이므로 설계 객체를 빠르고 정확하게 분석 할 수 있습니다. 게다가, 기계 는 용접 결함 을 신속 하고 정확 하게 진단 할 수 있어서, 그 제품 이 결함 이 없도록 할 수 있다. 그렇다. 따라서 KLA/TENCOR/INSPEX TCP 8530M은 제조 프로세스에 필수적인 도구입니다.