중고 KLA / TENCOR / INSPEX (마스크 & 웨이퍼 검사) 판매용

KLA-Tencor (이전 명칭: KLA-Tencor) 는 반도체 산업을위한 고급 프로세스 제어 및 항복 관리 솔루션 제조업체입니다. INSPEX 마스크 및 웨이퍼 검사 장비 (INSPEX line of mask and wafer inspection equipment) 는 반도체 마스크와 웨이퍼의 품질과 무결성을 보장하는 포괄적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 클라이 (KLA) 의 INSPEX 시스템은 고급 광학 기술과 알고리즘을 사용하여 마스크와 웨이퍼의 결함을 정확하게 감지하고 분류합니다. 이 장치에는 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 기능이 장착되어 있어 샘플의 상세한 이미지를 캡처하고, 데이터를 분석하고, 이상이나 결함을 파악할 수 있습니다. 반도체 제조업체가 생산량을 높이고 생산비를 절감할 수 있도록, 빠르고 안정적인 검사 결과를 제공합니다 (영문). KLA에서 생성 한 유사체 중 하나는 TPC 8520 시스템입니다. 고급 리소그래피 프로세스에 사용되는 중요 마스크의 고속 검사를 위해 설계되었습니다. TPC 8520 (TPC 8520) 은 우수한 결함 감지 감도를 제공하며, 낮은 허위 감지 속도를 유지하면서 높은 검사 품질을 제공합니다. 또 다른 예는 이글 (Eagle) 시스템으로 웨이퍼 검사에 최적화되어 있습니다. 이글 (Eagle) 은 입자, 스크래치 및 패턴 편차와 같은 다양한 결함 유형을 감지 할 수있는 정확하고 높은 처리량 결함 검색을 제공합니다. 프런트엔드 및 백엔드 반도체 프로세스에 모두 적합합니다. EX 3500은 KLA에서 제공하는 또 다른 마스크 검사 시스템입니다. 이 제품은 정확하고 안정적인 결함 감지 및 분류를 가능하게 하는 고급 DUV (Deep Ultra-Violet) 이미징 기술을 갖추고 있습니다. EX 3500은 이진 마스크, 내장 감쇠 위상 이동 마스크 (EAPSM) 및 교대 조리개 위상 이동 마스크 (Alt-PSM) 를 포함한 다양한 마스크 유형을 검사 할 수 있습니다. 전반적으로 KLA의 INSPEX 마스크 및 웨이퍼 검사기 (wafer inspection machine) 는 반도체 제조업체에 최첨단 솔루션을 제공하여 제품의 품질과 안정성을 보장하고, 생산량을 높이고, 생산 비용을 절감할 수 있습니다.