판매용 중고 DNK MA-4200 #9159261

DNK MA-4200은 최대 200mm의 웨이퍼를 사용하도록 설계된 자동 Mask Aligner입니다. 여기에는 웨이퍼에서 다양한 장치 구조를 정확하게 정렬하는 데 사용할 수있는 MP (Mask Positioner) 와 AM (Alignment Microscope) 이 있습니다. Mask Aligners는 일반적으로 광석판 공정에 마이크로 일렉트로닉스 산업에서 사용됩니다. Mask Positioner (MP) 에는 마스크 프레임을 웨이퍼 위로 이동시키는 X-Y 포지셔닝 시스템이 있습니다. "마스크 '를 0.1" 미터' 의 해상도 로 "웨이퍼 '에 자동 정렬 할 수 있다. 동기식 모터와 고해상도 인코더가 장착되어 있어 포지셔닝이 정확합니다. 또한 Mask Positioner는 Alignment Microscope를 사용하여 마스크 프레임을 수동으로 세밀하게 조정할 수 있습니다. AM (Alignment Microscope) 은 내장 레이저 다이오드 및 스플래시 증명 뷰 포트를 갖춘 광학 현미경입니다. 웨이퍼의 마스크 프레임을 나노 미터 수준의 정확도로 관찰하고 정렬하는 데 사용됩니다. 정렬 현미경은 10 배 배율과 0.2 초의 해상도를 갖습니다. 정렬 대상의 도움에 따라 넓은 영역 기판을 정렬할 수 있습니다. DNK MA4200에는 마스크 쓰기 및 기타 프로세스의 카메라 방향을 지정하는 데 사용되는 COM (Camera Orientation Mechanism) 도 포함되어 있습니다. COM 은 고성능 토크 모터 (torque motor) 와 정교한 인코더 (encoder) 를 장착하여 웨이퍼 위에 카메라를 매우 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한 마스크 알리너 (Mask Aligner) 에는 고출력 할로겐 조명기가 장착되어 있어 넓은 지역에 걸쳐 균일 한 조명을 생성 할 수 있습니다. 이 제품은 마스크 쓰기 성능 향상을 위한 냉각 시스템 (내장) 과 유지 관리 작업 추적을 위한 유지 관리 저널 (Maintenance Journal) 을 갖추고 있습니다. MA 4200 은 안정적이고 효율적인 Mask Aligner 로서, 다양한 photolithography 프로세스 단계에 적합한 기능을 제공합니다. 이 제품은 정밀도, 정확도, 성능을 모두 갖추고 있어 고품질 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 제조에 적합합니다.