판매용 중고 DNK MA-4200 #293762485

DNK MA-4200은 반도체 업계에서 리소그래피 마스크 생산을 위해 개발 된 고정밀 마스크 정렬기입니다. 광석판 촬영 (photolithography) 에 사용 된 기판에 불투명 한 포토 마스크 (photomask) 와 투명 포토 마스크 (transparent photomask) 를 모두 정렬하도록 설계되었으며 마스크 또는 기판의 변위에 대해 2jm 범위 내에서 기판에 정확하고 일관된 포토 마스크 정렬을 제공 할 수 있습니다. 이 정렬기는 30배의 오브젝티브 렌즈 (objective lens) 와 향상된 정렬 장비를 갖추고 있어 최적의 이미지를 형성하고 마스크 대 기판 정렬을 위한 향상된 기능을 제공합니다. 앨리너는 레이저 다이오드 (laser diode) 를 사용하여 광마스크 (photomask) 를 기판에 투영하여 높은 정확도와 정밀도 정렬을 제공합니다. 대화식 등록 시스템 (Interactive Registration System) 을 통해 운영자는 기판의 등록 마크를 쉽게 식별하고 조정할 수 있으며, 고해상도 카메라는 처리를 위해 정렬 이미지를 얻을 수 있습니다. 카메라 장치에는 AAIR (Advanced Algorithm-Based Image Recognition) 기술이 적용되어 있어, 포토마스크의 다른 기능을 비롯하여 등록 표시 크기와 위치를 정확하고 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 도구는 500mm/s에서 정확하게 보정 및 디지털로 제어되어 빠르고 정확한 기판 이동을 위해 개선 된 기판 테이블을 특징으로합니다. 또한 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 라이트 머신 (wright machine) 을 사용하여 다양한 기판의 요구에 맞게 적절한 가중치 성능을 선택할 수 있습니다. 정렬기에는 수평/수직 마스크 반전 (invert), 마스크 대칭 이동 (mask flip), 화면 이동 (screen shift) 작업, 빠르고 정확한 정렬 조정을 위한 수동 기판 이동 기능 등 다양한 작업이 제공됩니다. DNK MA4200 은 사용자 친화적인 그래픽 제어 소프트웨어로 설계되어 Aligner 를 쉽고 정확하게 조작할 수 있습니다. 또한 해당 AD (Automatic Defect Detection) 기능을 사용하여 연산자가 포토마스크의 실제 결함을 신속하게 식별할 수 있습니다. 또한 이 정렬자에는 추가 위치 정밀도를 제공하는 선택적 모서리 감지 도구 (Edge Detection Tool) 가 있습니다. 이것은 반도체 산업에서 사용되는 석판화 마스크 (lithography mask) 의 생산에 이상적인 선택입니다.