판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDxT #9115399

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDxT는 고성능, 신뢰성이 뛰어난 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 반도체 기판 (예: 실리콘 웨이퍼) 에 일관되고 반복 가능한 이온 임플란테이션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비의 높은 처리량은 반도체 (semiconductor) 처리 기능을 지원하며, 이는 많은 기술 고급 응용 프로그램에 매우 중요합니다. 다양한 크기와 재료의 기판 처리에 탁월한 유연성을 제공하며, 고급 이온 소스 설계 (Advanced Ion Source Design) 는 이식 공정에서 높은 수준의 반복성과 정확성을 보장합니다. AXCELIS Optima HDxT는 양극성 이온 소스 설계를 사용하여 시스템을 As, P, B 및 기타 다양한 이온 종과 함께 사용할 수 있도록 조정합니다. 또한 저에너지 이식 및 HEII (High Energy Ion Implantation) 를 포함한 다양한 에너지를 지원합니다. 이 기계는 강력한 빔 트랜스포트 유닛 (Beam Transport Unit) 을 활용하여 고정밀도 임플란테이션을 생성하고 결과 기판에서 고도의 균일성을 유지할 수 있습니다. 정확한 이식 정밀도를 보장하기 위해 EATON NOVA Optima HDxT에는 고급 온도 조절 기능도 있습니다. Optima HDxT에는 고급 프로세스 제어 및 진단 시스템, 고급 통합 분석/보고서 생성 기능도 포함되어 있습니다. 고급 프로세스 제어를 통해 사용자는 전체 임플란트 프로세스 (이온 임플란트 에너지, 현재, 빔 스팟 크기 등) 전체에서 프로세스 매개변수를 손쉽게 모니터링하고 관리할 수 있습니다. 또한, 이 툴은 포괄적인 보정 및 진단 루틴을 지원하므로 데이터 수집/분석 (PA) 기능을 제공합니다. 또한 EATON NOVA/AXCELIS Optima HDxT에는 임플란트 프로세스 단계마다 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있는 고급 통합 모니터링 에셋이 포함되어 있습니다. 이 모델은 정확한 임플란테이션 정확성을 보장하는 데 도움이 될 뿐만 아니라, 특정 애플리케이션의 요구 사항에 맞게 프로세스를 손쉽게 최적화할 수 있습니다 (영문). 마지막으로, 이 장비에는 프로세스의 안전성과 안정성을 보장하는 포괄적인 통합 안전 (Integrated Safety) 기능이 포함되어 있습니다. 요약하자면 AXCELIS Optima HDxT는 고성능, 신뢰성이 뛰어난 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 제품은 다양한 이온 종과 에너지를 지원하며, 고급 온도 조절 (temperature control) 및 공정 제어 시스템 (process control system) 을 갖추고 있으며, 종합적인 통합 진단 및 안전 기능을 사용합니다. EATON NOVA Optima HDxT는 고급 모니터 시스템 및 사용자 친화적 인 교정 및 테스트 루틴을 통해 광범위한 반도체 처리 어플리케이션에 대한 안정적인 임플란테이션 정확성, 반복 가능성, 균일성을 제공합니다.