중고 EATON NOVA / AXCELIS (이온 주입기 & 모니터) 판매용
이온 이식 (Ion implantation) 은 전기 특성을 수정하기 위해 실리콘 웨이퍼에 불순물을 도입하는 데 사용되는 반도체 산업의 핵심 프로세스입니다. EATON NOVA/AXCELIS는 고급 이온 임플랜터와 모니터로 유명한 유명한 제조업체입니다. NV GSD-HE, NV 10-160 및 NV 10-80과 같은 이온 임플란터는 웨이퍼에 정확하고 통제 된 이온 임플란테이션을 제공하도록 설계되었습니다. 이러한 시스템은 높은 처리량, 향상된 프로세스 제어, 뛰어난 균일성 등 다양한 이점을 제공합니다. 이러한 애플리케이션은 논리, 메모리, 전원 장치 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. NV GSD-HE는 하이브리드 임플란터 (hybrid implanter) 의 아날로그이며 향상된 에너지 성능을 제공하여 유연성과 생산성을 높입니다. NV 10-160은 까다로운 장치를 손쉽게 이식할 수 있도록 설계되었으며, 초저전력 (ultra-low energy) 기능과 뛰어난 용량 제어를 제공합니다. 반면, NV 10-80은 고 용량 성능과 뛰어난 균일성을 제공하는 고 에너지 임플란터입니다. EATON NOVA/AXCELIS Implanter에는 이식 프로세스 동안 정확한 제어 및 실시간 피드백을 보장하는 고급 모니터링 시스템이 장착되어 있습니다. 이러한 모니터는 빔 전류 (beam current), 용량 (dose), 에너지 (energy) 및 기타 관련 매개변수를 정확하게 측정하여 정밀한 프로세스 제어 및 최적화를 지원합니다. 전반적으로, EATON NOVA/AXCELIS 이온 임플란터 및 모니터는 고성능, 다용도 및 신뢰성으로 유명하며, 반도체 업계에서 선호되는 선택입니다.
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