판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9355276

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX는 반도체 장치 생산에 사용되는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이식 프로세스의 고속 이식 및 정확한 모니터링을 모두 제공하는 고급 (advanced) 도구입니다. 이 장비에는 독점 빔 라인 (beamline) 과 고급 임플란테이션 헤드 (implantation head) 가 장착되어 광범위한 임플란테이션 특성을 제공합니다. AXCELIS Optima HDX는 와트, 펄스 (pulsing) 및 빔라인 튜닝성을 선택하여 다양한 이온 종과 용량 범위를 만들 수 있습니다. 이를 통해 이식 (implantation) 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있으며, 이식 (implantation) 매개변수와 보다 생산적인 이식 세션의 변형을 사용자에게 제공합니다. 이튼 노바 옵티마 HDX (EATON NOVA Optima HDX) 는 특허를 받은 트릴레이어 폐쇄 루프 모니터를 갖추고 있으며, 임플랜터가 이식 세션을 정확하게 제어하기 위해 필요한 모든 피드백을 제공하도록 설계되었습니다. 모니터는 이식된 웨이퍼 (wafer) 의 데이터를 수집할 수 있으며, 데이터 정확성을 보장하면서 임플랜터 매개변수 (implanter parameters) 의 모든 이상을 감지하기 위한 고급 필터가 장착되어 있습니다. Optima HDX에는 다중 단계 자동화 (예: 시스템을 쉽고 자동으로 작동할 수 있는 소프트웨어 포함) 도 포함되어 있습니다. 이 장치에는 많은 수의 웨이퍼에 대한 자동 배치 프로그래밍 (Automated Batch Programming) 과 향상된 수익률을 위한 통합 통계 프로세스 제어 (Integrated Statistical Process Control) 가 포함되어 있습니다. 또한 EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX 시스템에는 인력과 장비의 안전을 보장하는 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 안전 연동 도구 (Safety Interlock Tool) 가 포함되어 있어 모든 안전 매개변수를 충족하지 않는 한 임플랜테이션 절차가 시작되지 않습니다. 자산에는 하드웨어/소프트웨어 오류를 감지하는 자가 진단 (Self Diagnostics) 과 공기 입자 오염을 감지하고 제거하는 고급 오염 제어 모델 (Advanced Contamination Control Model) 도 포함됩니다. AXCELIS Optima HDX (Optima HDX) 는 강력하고 신뢰할 수 있는 장비로, 고급 이식 제어, 다양한 이식 특성, 강력한 모니터링 기능을 제공하여 일관성 있고 안정적인 결과를 제공합니다. 이 시스템은 이식 수율 향상, 비용 절감, 상업용 반도체 제조에 이상적입니다.