판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9355274

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX는 혁신적인 성능과 검증된 신뢰성을 갖춘 이온 임플랜터입니다. 업계에서 가장 강력하고, 다양하며, 생산적인 이온 임플란터 (ion implanter) 로, 탁월한 성능과 프로세스 용량을 제공합니다. AXCELIS Optima HDX는 고해상도, 4축 모션 컨트롤 장비, 고급 비전 시스템을 통해 이온을 신속하게 이식하고 모니터링합니다. 축채널 스캐닝 (scanning) 기술을 활용하면 신뢰할 수 있는 프로파일 제어와 더 빠른 빔 (beam) 포지셔닝이 가능하며, 고급 빔 진단 모니터를 통해 장치를 프로세스 변형으로부터 보호할 수 있습니다. 또한 빔 성능을 자동화하는 통합 IrisTM 빔 최적화 도구도 갖추고 있습니다. EATON NOVA Optima HDX에는 양성 피드백 빔 매핑 머신 (positive-feedback beam mapping machine) 이 있어 높은 공정 안정성과 정확성을 제공하며, 용량의 균일성과 이온의 균일성을 제공합니다. 3 개의 섹션 빔 스캐너 (Beam Scanner) 는 시장에서 가장 높은 처리량을 위해 범위가 50 배 증가하고 표본 가능한 활성 영역을 제공합니다. 장기 운영 및 저에너지 확산을 위해 설계된 현장 방출 소스 (Field Emission Source) 가 있어 최고의 적용 범위, 성능, 수익률을 제공합니다. Optima HDX는 설치와 유지 관리가 용이합니다. 대규모의 통합 전원 공급 장치와 냉각 장치 (Coolant Tool) 를 통해 신속한 솔루션을 설치할 수 있으며, 고급 서비스와 진단 기능을 통해 가동 시간을 극대화하고 유지 보수 작업을 간소화할 수 있습니다. Touch-Screen 대화형 제어판과 직관적인 소프트웨어를 통해 직관적으로 연산자를 처리 단계를 안내합니다. 또한 EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX는 업계 최고의 깨끗한 디자인으로 설계되었습니다. 친환경적인 고효율 구성 요소, 레이저 연동 도어 (Laser Interlock Door) 및 저방사 (Low-Radiation Construction) 를 통해 유해한 배출량을 최소화하고 인력에 대한 위험을 줄일 수 있습니다. 또한 AXCELIS Optima HDX 는 안정성과 일관된 성능을 보장하는 견고한 설계로 지속됩니다. 전반적으로 EATON NOVA Optima HDX 이온 임플란터는 강력하고, 안정적이며, 효율적인 자산으로, 탁월한 성능과 프로세스 용량을 제공합니다. 최고 속도, 정밀도, 작동 편의성을 위해 설계되었으며, 많은 고급 기능과 배출량을 최소화하고 인력을 보호하는 깨끗한 환경 설계 (Clean Environmental Design) 를 자랑합니다. 이 제품은 빠르고 신뢰성 있는 이온 (ion) 구현 및 모니터링 프로세스를 위한 완벽한 선택이며, 높은 수익률과 비용 효율적인 결과를 제공하는 검증된 실적 (Track Record) 을 제공합니다.