판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9282114

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX는 반도체 장치 제조에 사용되는 이온 임플랜터 및 모니터 기술입니다. IC 구조에 이온을 이식 할 때 뛰어난 속도, 안정성 및 정확성을 제공하도록 설계된 고전압, 다이렉트 드라이브 이온 임플란터입니다. AXCELIS Optima HDX는 유전체 계층 증착, 소스 이식, 헤비 도핑 (heavy doping) 과 같은 반도체 장치 제작 프로세스의 중요한 처리 단계에 사용됩니다. 이튼 노바 옵티마 HDX (EATON NOVA Optima HDX) 는 이온 소스에서 플라즈마 가속기로 도핑 된 이온을 로드하여 이온을 높은 에너지로 가속시켜 정확한 정확도로 원하는 기판으로 안내합니다. 이 소스-투-기판 (source-to-기판) 전송은 일반적으로 일련의 펄스 및 스윕 자기 렌즈 (sweep magnetic lenses) 에 의해 수행되며, 이로 인해 주어진 재료 계층에 최적화된 좁은 빔이 생성됩니다. Optima HDX는 목표 외 증착을 제한하고 착상 후 이온 빔 궤적을 제어하는 고급 제어 알고리즘을 제공합니다. 이를 통해 디바이스 구성의 정확성과 반복성이 보장됩니다. EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX는 또한 이온 임플란트 프로세스를 측정 및 추적 할 수있는 고급 모니터링 시스템을 제공합니다. 이러한 시스템은 현재 센서, 압력 센서, 위치 센서 등 다양한 센서를 사용하여 이온 (ion) 과 기판층 (기판층) 의 특성을 실시간으로 측정합니다. 이렇게 하면 주어진 응용 프로그램에 대해 이온 용량, 이온 속도, 이온 빔 크기가 최적화됩니다. AXCELIS Optima HDX는 탁월한 신뢰성과 정확도에 대해 테스트를 거쳤습니다. 첨단 모니터링 시스템은 이온 빔 (ion beam) 을 정확하게 제어하고 최고 수준의 성능을 보장하도록 설계되었습니다. EATON NOVA Optima HDX는 품질, 처리량, 수율을 향상시키는 데 가장 효율적인 방식으로 작동할 수 있습니다. Optima HDX는 모두 고도로 고급적이고 정교한 DD (Direct-Drive) 이온 임플란터 및 모니터로, 이온 임플란트 프로세스를 정확하게 제어하고 최적의 정확도, 속도, 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 및 최적화된 기능을 갖춘 EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX는 반도체 장치 제작의 까다로운 요구 사항에 적합합니다.