판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9262048

EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX
ID: 9262048
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
Ion implanter, 12" 2012 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX는 고에너지, 고용량 이온 임플란터 및 모니터입니다. 이것 은 다른 "에너지 '와 용량 의" 이온' 을 매우 정밀 하고 정확 하게 심는 데 이상적 인 해결책 이다. AXCELIS Optima HDX는 반도체 및 MEM (Micro Electro-Mechanical Systems) 제조, 새로운 재료의 이식 및 기판의 금속화와 같은 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. EATON NOVA Optima HDX에는 이온 임플랜터, 모니터 및 컨트롤 시스템, 고해상도 디지털 카메라의 세 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 임플란터는 고류, 고에너지 이온 이식 과정을 가능하게하는 고급 자기 광학을 사용합니다. 또한 큰 동적 범위 (dynamic range) 와 높은 정밀도 (high precision) 를 특징으로하여 에너지와 용량이 다른 서로 다른 이온을 이식할 수 있습니다. 모니터 및 컨트롤 시스템은 다양한 센서와 피드백 루프 (feedback loop) 를 갖춘 닫힌 루프 디지털 플랫폼 (closed-loop digital platform) 을 갖추고 있어 임플랜테이션 매개변수를 정확하게 조정하고 모니터링할 수 있습니다. 모니터에는 이식 매개변수를 쉽게 설정할 수 있는 고급 사용자 인터페이스 (advanced user interface) 도 포함되어 있습니다. 이것은 이식 과정에서 정확성을 보장합니다. Optima HDX에는 고해상도 디지털 카메라도 포함되어 있습니다. 이것은 이식 프로세스를 모니터링하는 데 사용됩니다. 카메라는 연산자에게 임플란트 (implantation) 프로세스에 대한 자세한 이미지를 제공하며, 이를 통해 임플란트 (implant) 프로세스를 보다 효율적으로 제어할 수 있습니다. EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX는 효율적이고 안정적인 이온 임플랜터이며 일관성 있고 정확한 임플란테이션을 보장하는 모니터입니다. 즉, 다양한 기능을 통해 프로세스를 정확하게 제어하고 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 다양한 이식 애플리케이션에 적합하므로 고급 반도체 (SEMs manufacturing) 를 위한 다목적 선택입니다.
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