판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9353491

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter & Monitor는 반도체 업계의 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된, 강력하고 안정적인 이온 임플란트 머신입니다. 고급 임플란테이션이 높은 정밀도로 우수한 수율을 제공 할 수있는 로봇 보조 장비입니다. AXCELIS Optima HD는 통합 및 자동 압력 및 온도 관리 장치를 포함하는 진공 시스템을 사용합니다. 이 임플란터는 또한 고전압 전원 공급 장치 및 고급 마그네트론 소스 설계를 사용하여 이온 임플란테이션 정확도 및 성능을 향상시킵니다. 또한, 통합 전자 제어 장치 (Integrated Electronic Control Machine) 는 임플란테이션 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 용량 제어를 보장합니다. EATON NOVA Optima HD에는 고급 빔 라인과 자동 빔 전송 도구가 장착되어 있습니다. 이를 통해 이식 된 이온을 정확하고 효율적으로 전달할 수 있습니다. 이 기계는 또한 데드 존을 최소화하고 임플란트 균일성을 개선하도록 설계되었습니다. Optima HD (Optima HD) 는 이식 프로세스의 모든 단계를 모니터링하고 기록하여 운영자가 데이터를 실시간으로 볼 수 있도록 합니다. 또한 운영자는 임플란트 매개변수 제어 (control of implant parameters) 및 임플란트 조건 선택 (selection of implant condition) 과 같은 특정 프로세스를 자동화할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 생산량을 극대화할 수 있으며, 이식된 각 웨이퍼 (wafer) 에서 가능한 최상의 수율을 보장할 수 있습니다. EATON NOVA/AXCELIS Optima HD 이온 임플란터는 업계에서 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며 하이엔드 이식 성능을 제공합니다. q 형 이온, 고에너지 이온, 저에너지 이온 등 다양한 이온을 이식 할 수 있습니다. 통합 레이저 연동 자산은 최대 안전을 보장하며 기계는 ISO 22301 및 USIOC-N10 인증을 받았습니다. AXCELIS Optima HD (Optima HD) 는 고급 반도체 애플리케이션을 위한 고성능 임플랜테이션 솔루션을 제공하여 최고의 품질 표준을 충족하도록 설계 및 개발되었습니다. 신뢰할 수 있는 이온 소스 (ion source), 고급 빔 라인 (advanced beam line), 자동 전송 모델 (automated transport model), 통합 모니터링 및 기록 기능을 통해 반도체 제조업체의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있습니다.