판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9311204

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD는 최첨단 이온 임플랜터이며 반도체 프로세싱 작업을 원활하고 효율적으로 실행할 수 있도록 설계된 모니터입니다. AXCELIS Optima HD (Optima HD) 는 최대 60kW 의 오픈 필드 작동과 다양한 빔 스캐닝 속도를 통해 높은 처리량을 통해 높은 심도의 임플랜테이션에 도달할 수 있습니다. 이를 통해 디바이스 성능에 매우 중요한 복잡한 임플란트를 빠르고 정확하게 수행할 수 있습니다. EATON NOVA Optima HD에서 특허를 받은 Dual Beam Scanning System을 통해 주파수, 스팟 크기, 전력 및 용량을 포함한 정확한 빔 제어를 할 수 있습니다. 또한 최적화 된 임플란트 제어를 위해 전압 체계를 조정하기 위해 AI 구동 TVCS (TransVoltage Control System) 가 장착되어 있습니다. 선택한 임플란트 레시피를 웨이퍼의 실제 시험 조건에 일치시킴으로써, 옵티마 HD (Optima HD) 는 원하는 레시피 결과를 제공하는 동안 범위를 벗어나는 이온을 최소화합니다. EATON NOVA/AXCELIS Optima HD에는 온도, 압력 등으로 인해 이식 중 발생하는 변형을 추적 및 수정하여 이온을 안정적으로 유지하는 고급 Auto Ionization Control도 있습니다. 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 웨이퍼 (wafer) 제품에 대한 기록이 내장되어 있어 중요한 피드백을 제공하며, 효율성을 극대화하면서 프로세스를 보다 효율적으로 제어하고 최적화할 수 있습니다. AXCELIS Optima HD에는 고해상도 모니터 (High Resolution Monitor) 가 장착되어 있어 이온 임플란테이션을 실시간으로 시각화하고 프로세스가 지정된 레시피를 따르는지 확인하십시오. 모니터를 사용하면 임플란테이션 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있으며, 통계적 프로세스 제어를 위한 포괄적인 데이터를 제공할 수 있습니다. 또한 구멍, 스파이크, 왜곡된 파형 등의 임플랜테이션 결함을 쉽게 발견할 수 있으며, 설정을 자동으로 조정하여 수정합니다. 산업 안전 사양에 맞게 설계된 EATON NOVA Optima HD에는 안전 연결 (Safety Interlock) 및 긴급 정지 (Emergency Stop) 단추를 포함한 완벽한 안전 시스템이 제공됩니다. 또한 유지 보수 (maintenance-free) 이온 소스가 있으므로 정기적 인 유지 보수 또는 교체 비용에 대해 걱정할 필요가 없습니다. Optima HD에는 표준 레시피 개발 도구, 상세 분석 및 보고, 직관적인 운영자 인터페이스 등을 포함하는 PTW-4GB 소프트웨어도 있습니다. 간단히 말해서, EATON NOVA/AXCELIS Optima HD는 최첨단 기능을 갖춘 고급적이고 안정적인 이온 임플랜터이며 모니터입니다. 반도체 처리 작업에 이상적이며, 프로세스 제어를 최적화하고, 유지 관리 비용을 최소화하여 정확하고 효율적으로 임플랜테이션을 수행할 수 있습니다.