판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9262050

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter & Monitor는 다양한 차세대 임플란터 및 모니터로, 뛰어난 빔 균일성, 웨이퍼 품질, 일관성을 제공하면서 생산성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 이온 임플란터 (Ion Implanter) 는 고급 빔 기술과 직관적인 소프트웨어/하드웨어 기능의 혁신적인 조합을 활용하여 반도체 업계에서 새로운 수준의 성능과 안정성을 제공합니다. Optima HX Implanter는 이중 플라즈마 확장을 갖춘 독점 이중 소스 OptiSource ™ 이온 소스를 갖추고 있습니다. 이를 통해 양수 (positive) 또는 음수 (negative) 의 두 가지 다른 이온을 각 소스에서 동시에 이식하여 생산성을 높일 수 있습니다. 이 고급 소스 (advanced source) 는 기존의 소스 (source) 보다 부품이 훨씬 적어 유지 및 제어가 용이합니다. 근원은 독특한 추출 그리드 (extraction grid) 기술로 둘러싸여 있으며, 이온의 안정적인 추출을 보장하고 웨이퍼 표면에 일관된 균일성을 제공합니다. AXCELIS Optima HD 모니터는 빔 전류 제어, 스팟 크기 및 모양 모니터링, 입자 치수 측정 등 뛰어난 모니터링 기능을 제공합니다. 이 모니터는 임플란트 웨이퍼 영역의 100% 를 캡처하고 고유한 비전 시스템 (vision system) 을 통해 임플란트 프로세스의 모든 변형을 감지합니다. 이 시스템은 지능형 (Intelligent) 카메라를 사용하여 이식된 사이트의 이미지를 캡처하고 임플란트의 품질을 평가합니다. Optima HX 임플랜터 및 모니터는 AXCELIS UNICUS ™ Process Control Software로 구동되며, 정교한 분석이 가능한 최신 플랫폼을 제공합니다. 업계를 선도하는 이 소프트웨어를 통해 운영자는 각 작업의 상태를 추적, 추세로 파악하고, 잠재적인 문제를 감지하고, 제품 생산량에 영향을 미치기 전에 시정 (corrective) 조치를 수행할 수 있습니다. 전반적으로 EATON NOVA의 EATON NOVA Optima HD는 생산성 향상, 임플란트 균일성 향상, 제품 품질 향상을 원하는 반도체 파운드리에 이상적인 솔루션입니다. 이 차세대 임플란터/모니터는 고급 소스/모니터 기술, 직관적인 제어 소프트웨어, 견고한 프로세스 제어 (process control) 기능을 단일 플랫폼에 결합한 것으로, 이 모든 기능을 통해 고객은 운영 라인에서 최고의 성능과 안정성을 빠르고 안정적으로 달성할 수 있습니다.