판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9257349
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ID: 9257349
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
High current ion implanter, 12"
No Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HD는 반도체 재료에 이온을 임플란트하는 데 사용되는 최첨단 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이것 은 "트랜지스터 '를 만들기 위하여 행해지므로" 마이크로' 전자 성분 의 성능 을 증가 시킨다. AXCELIS Optima HD는 업계 최고의 AXCELIS 기술과 EATON NOVA 기술을 결합한 업계 최고의 임플랜터입니다. EATON NOVA Optima HD는 각 반도체 제조업체의 생산 요구에 맞게 조정할 수 있는 유연한 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. RTP (Real Time Processing), IRM (Ion Range Monitor) 및 PMC (Pulse Modulation Control) 와 같은 고급 프로세스 제어 기술이 특징입니다. RTP는 이온 용량이 웨이퍼에 정확하고 균일하게 전달되도록 보장하는 반면, IRM 및 PMC는 이온 유형 (ion type) 과 강도 (intensity) 를 정확하고 정확하게 제어 할 수 있습니다. Optima HD는 또한 이식 된 이온의 고해상도 이미징을 가능하게하는 고급 광학 장비를 갖추고 있습니다. EATON NOVA/AXCELIS Optima HD에는 균일 한 이온 소스 형성을 보장하는 강력한 독점 소스 형성 기술이 있습니다. 이 기능은 디바이스의 성능을 최적화하고, 대용량 임플란트에 대해 처리 시간을 단축하는 데 도움이 됩니다. AXCELIS Optima HD는 우수한 성능과 탁월한 이온 임플란테이션 품질을 제공합니다. 이온 매개 변수에 대한 뛰어난 제어 및 이식 된 이온의 더 나은 해상도를 제공합니다. 고급 광학 시스템 (Optics System) 과 소스 형성 기술 (Source Formation Technology) 은 장치의 성능을 더욱 향상시킵니다. EATON NOVA Optima HD에는 정교한 자동 프로세스 모니터링 장치 (Automatic Process Monitoring Unit) 가 장착되어 있어 사용자가 이식 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이것은 더 빠른 반응 시간과 더 빠른 처리 시간을 가능하게합니다. 또한 Optima HD는 처리량을 극대화하기 위해 여러 임플란테이션을 동시에 실행할 수 있습니다. 전반적으로 EATON NOVA/AXCELIS Optima HD 이온 임플랜터 및 모니터는 대용량 반도체 처리를 위한 강력하고 고급 장치입니다. 첨단 기술의 조합으로 이온 파라미터 (ion parameters) 의 뛰어난 제어 및 이식 된 이온의 뛰어난 해상도를 구현할 수 있습니다. 자동 프로세스 모니터링 머신 (automatic process monitoring machine) 과 소스 형성 기술 (source formation technology) 은 이온 임플란테이션의 처리 시간을 단축하고 균일성을 향상시킵니다.
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