판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9244859

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD는 반도체 기반 재료 처리에 사용되는 조합 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 고급 장비는 저에너지 터미널, 리모콘이있는 주사 전자 현미경, x- 선 형광 분광기 및 3 축 샘플 포지셔너를 특징으로합니다. AXCELIS Optima HD에는 샘플 표면에서 방출되는 빛의 검출을위한 NaI 신틸레이터 (scintillator) 와 전류 측정을위한 전자 현미경 유형 검출기 (detector) 가 장착되어 있습니다. 이러한 모든 구성 요소를 사용하면 EATON NOVA Optima HD가 샘플 재료에 정확한 양의 이온을 전달할 수 있습니다. 저에너지 단말기 (low-energy terminal) 에는 이식 중 빔 에너지의 정확한 에너지 제어가 가능한 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이 터미널에는 전원 공급 장치, 전류 제어 장치 (current control), 온도 조절 시스템, 게이트 밸브 제어 장치 (gate valve control unit) 등 다양한 기능이 있습니다. Optima HD의 모든 구성 요소와 마찬가지로, 저에너지 터미널 기능은 최적의 성능을 위해 설계되었습니다. 주사 전자 현미경 (SEM) 에도 고급 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 5 축 제어 (5-axis control) 와 샘플 재료에 대한 중요한 정보를 수집하는 데 사용할 수있는 포괄적 인 이미지 형성 시스템 (image formation system) 이 포함됩니다. 또한 다양한 샘플 형상을 수용합니다. 또한 SEM 은 컴퓨터 제어 시스템에 연결되어 원격 작업을 수행할 수 있습니다. x- 선 형광 분광계는 이식 과정에서 도펀트 및 오염 물질의 정확하고 정확한 제어를 보장합니다. 선형 가속기 (Linear Accelerator) 를 사용하여 샘플 재료를 관통하고 재료의 특징적인 에너지 반응을 감지하는 고도로 집중된 고에너지 엑스레이 빔 (X-ray beam) 을 생성합니다. 그런 다음이 데이터를 수집하고 분석하여 정확한 임플랜테이션을 보장합니다. 3축 샘플 포지셔너 (3축 샘플 포지셔너) 를 사용하면 샘플 재료의 정확한 조작이 가능하므로 최적의 임플랜테이션 정확도를 위해 이 샘플을 올바르게 배치할 수 있습니다. 예제 재료의 위치에 대한 정확한 공간 제어 (spatial control) 를 특징으로하며, 다양한 샘플 형상을 수용할 수 있습니다. 마지막으로, EATON NOVA/AXCELIS Optima HD에는 샘플 표면에서 방출되는 빛의 검출을위한 NaI 신틸레이터도 제공됩니다. 이를 통해 도구는 샘플을 수동으로 모니터링하지 않고도 이식 프로세스를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 이것은 또한 최고 수준의 착상 정확도를 보장합니다. AXCELIS Optima HD 이온 임플랜터 및 모니터는 전체적으로 정교하고 강력한 자산입니다. 고급 기능 (Advanced Features) 과 컴포넌트 (Component) 를 통해 샘플 재료의 정확한 임플란테이션을 통해 궁극적으로 일관된 수익률과 안정적인 제품 성능을 보장할 수 있습니다.