판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9235772

EATON NOVA / AXCELIS Optima HD
ID: 9235772
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Ion implanter, 12" 2010 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HD는 이온 이식 및 모니터링 장비로, 이식 및 모니터링 프로세스를 위한 효율적이고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 리서치 (Research) 와 프로덕션 (Production) 응용 프로그램 모두에 적합한 다양한 기능이 포함되어 있습니다. AXCELIS Optima HD는 용량 조절, 용량 매핑, 장치 보정, 프로세스 모니터링 등 다양한 정밀 기능을 통합합니다. 내장형 고전압 발전기, 임플랜터 소스, 처리 및 추출 시스템 (handling and extraction system) 을 갖춘 안정적이고 정확한 임플랜터가 장착되어 있습니다. 이러 한 특징 을 통하여 "빔 '을 여러 가지 기판 과 재료 로 정확 하게 이식 할 수 있다. 이 기계는 또한 최대 사용자 안전을 위해 다양한 보호 장치 및 경보를 제공합니다. 이튼 노바 옵티마 HD (EATON NOVA Optima HD) 의 모니터링 도구에는 다양한 센서와 기능이 장착되어 있어 에셋이 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 상세하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이러한 기능에는 임플란트 용량 속도, 빔 에너지, 전류, 온도, 진공 압력 및 빔 프로파일을 모니터링하는 센서가 포함됩니다. 이 모델은 최대 5 백만 개의 임플란트 (implant) 데이터 포인트를 저장할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 임플란트 프로세스에 대한 상세한 기록을 생성할 수 있습니다. Optima HD는 또한 사용자 친화적, 시각적 인터페이스 (터치 스크린 디스플레이, 프로세스 상태의 여러 그래픽 표현, 데이터 입력 필드 포함) 를 갖추고 있습니다. 이 인터페이스는 사용자가 implantation 프로세스를 설정하고 제어하는 데 필요한 정보를 제공합니다. EATON NOVA/AXCELIS Optima HD는 사용 가능한 가장 안정적이고 정확한 이온 임플랜터 및 모니터링 시스템 중 하나입니다. 안전하고, 포괄적이며, 사용자 친화적인 기능을 통해, 연구/운영 애플리케이션 모두에 이상적인 선택입니다.
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