판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293778546

ID: 293778546
High current implanter (2) Load ports Wafer handling module.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HD는 이온 및 입자 빔 이식 응용 프로그램에 대한 업계 최고의 성능을 제공하도록 설계된 고급 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. AXCELIS Optima HD는 고에너지 웨이퍼 머시닝, 초저출력 이식 및 대용량 생산을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 혁신적인 빔 엔벨로프 (beam-envelope) 구동 설계를 통해 다양한 임플란테이션 에너지 및 용량을 다룰 수 있습니다. 고급 디지털 이온 광학 장치 (Advanced Digital Ion Optical Unit) 는 매우 균일한 이식 필드를 생산할 수 있으며, 탁월한 프로세스 성능을 제공합니다. EATON NOVA Optima HD에는 통합 입자 가속, 이온 소스 및 빔 제어 하위 시스템이 있습니다. 이 모든 구성 요소는 웨이퍼 (wafer) 에 다양한 활성, 전도성, 절연 재료를 이식할 때 매우 정밀하고 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 Optima HD는 고급 실시간 동적 이식 충전 및 온도 모니터링을 제공합니다. 이 고급 모니터링 시스템 (Advanced Monitoration Machine) 은 실시간 데이터 수집 및 분석 없이도 불가능한 반복 가능하고 정확한 임플란테이션을 가능하게 합니다. EATON NOVA/AXCELIS Optima HD는 사용자에게 친숙한 작동을 제공하며 다양한 사용자 정의 옵션을 포함합니다. 고급 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 운영자는 오류를 최소화하고, 유지 관리를 줄이고, 처리량을 극대화할 수 있습니다. AXCELIS Optima HD에는 탁월한 데이터 분석 기능을 제공하는 고속 분석 프로세서도 포함되어 있습니다. 새로운 기술과 프로세스를 지원하도록 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. 또한 EATON NOVA Optima HD를 사용하면 원격 진단 기능을 편리하게 통합할 수 있습니다. Optima HD는 SEMI S2, S2P 및 S2PA 안전 표준을 준수하며 1년 유지 관리 패키지가 제공됩니다. EATON NOVA/AXCELIS Optima HD (Optima HD) 는 운영 비용을 절감하는 동시에, 제조업체들이 점점 더 고급화된 시장에서 경쟁력을 유지할 수 있도록 설계되었습니다. 업계 최고의 속도, 정확성, 성능을 자랑하는 AXCELIS Optima HD는 이온 임플랜터 (ion implanter) 및 모니터 (monitor) 자산을 업그레이드하려는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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