판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293760169

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter & Monitor는 반도체 업계에서 사용하도록 설계된 고급 이식 및 모니터링 장비입니다. 중소기업 및 대용량 (high-dose) 생산 애플리케이션에 적합하며, 높은 처리량 및 고해상도 용량 이질성을 제공합니다. NovaAXCELIS Optima HD 시스템에는 고전압 전원 공급 장치와 고도로 최적화된 빔 컨트롤 로직 (beam control logic) 및 멀티 스테이지 빔 스크롤 장치가 장착되어 있습니다. 이를 통해 X-Y 평면에서 이온 빔의 정확하고 진동하지 않는 채널링과 용량 균일성을 활성화하기위한 Z축 (Z 축) 이 가능합니다. 또한 확장 제어 위험 평가 (Extended Control Risk Assessment) 및 결함이 없는 이식 기능을 제공하여 높은 프로세스 신뢰성을 제공합니다. 또한 NovaEATON NOVA Optima HD 머신은 향상된 임플란트 기능을 제공하여 고사양 정확도로 광범위한 용량 깊이를 제공합니다. NovaOptima HD 도구에는 모니터 에셋도 포함되어 있으며, 모니터 정확도를 향상시키는 여러 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 실시간, 완전 자동화 빔 프로파일 모니터, 여러 격자선이 있는 자동 빔 프로파일 모니터, 정상 상태 전류 모니터 등이 포함됩니다. 또한 빔 자가 진단 (beam self-diagnostics) 및 진공 누수 모니터링 (vacuum leak monitoring) 과 같은 다양한 모니터가 모델에 통합됩니다. NovaEATON NOVA/AXCELIS Optima HD 장비의 다른 기능에는 임플란테이션 챔버 로드 및 언로드를 지원하는 빔 언로드 시스템이 포함됩니다. 이 장치는 또한 견고한 접지기, 고전압 차단 방지 장치, 통합 안전 연동 모니터링 및 통합 입자 검출기를 제공합니다. 결국 AXCELIS Optima HD Ion Implanter & Monitor 는 강력하고 신뢰할 수 있는 임플란트 툴로서, 품질 임플란트 (implants) 와 높은 처리량 생산을 보장하는 다양한 기능을 제공합니다. 모니터 자산 (Monitor Asset) 과 추가 기능 (Additional Feature) 은 비용 효율적이고 반도체 산업 표준에 부합하는 동시에 정확성과 신뢰성을 더욱 보장합니다.