판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII-90 #9059238

EATON NOVA/AXCELIS NV GSDIII-90은 높은 정밀 임플란테이션과 동종 웨이퍼 커버리지를 위해 설계된 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 반도체 산업의 다양한 응용 분야에 널리 사용됩니다. 이 장치에는 최소 90 keV 수용체 공급 장치가 있으며, 이는 이온 복용량의 최적의 정확성과 균일 성을 제공합니다. 100 uA ~ 1mA 이온 빔 전류 범위는 높은 임플랜테이션 성능을 보장합니다. 이것은 특허를받은 장치의 스크리닝 전자 총 (screening electron gun) 및 자동 트위터 중단 모드로 가능합니다. 또한, 1 차원, 2 차원 및 프로그래밍 가능한 스캐닝을 포함한 여러 빔 정렬 옵션을 사용할 수 있으며, 정확하고 정확한 패턴 임플란테이션이 가능합니다. AXCELIS NV GSDIII 90에는 실시간 EOL (End-of-Shot) 모니터와 기능이 있으며 이식 매개변수에 대한 실시간 평가를 제공합니다. 이 기능은 또한 도플러 폭을 제어하여 웨이퍼 균일성 결과를 향상시키는 데 도움이됩니다. 또한 이 모니터는 TIM (Total Implant Mass) 계산을 통해 용량 및 프로파일 매개변수를 최적화하고 결과를 쉽게 확인할 수 있습니다. 이 장치는 또한 자동 가속기 안전 시스템 (모터 회전 배치) 과 호와 스퍼터링을 줄이기 위한 관성 댐핑 시스템 (관성 댐핑 시스템) 을 갖추고 있습니다. 또한, 가스와 공정 가스를 유연하게 지원하기 위해 총 8 개의 독립 포트를 사용할 수 있습니다. 또한 EATON NOVA NV-GSDIII-90은 광범위한 도펀트를 지원하며 최대 16 개의 다른 도핑 레벨을 처리 할 수 있습니다. 또한 자가 청소 기술 (self-cleaning technology) 과 제한 탐지기 (limit detector) 가 장착되어 안전한 작업 환경을 보장합니다. EATON NOVA NV GSDIII-90은 안정적이고 고정밀 이온 임플랜터/모니터입니다. 강력한 90 keV 최소 수용체 (acceptor) 공급과 다양한 처리 옵션을 제공하여 동종, 고정밀 결과를 얻을 수 있습니다. 디바이스의 고급 모니터링 (Advanced Monitoring) 및 자동 시스템 (Automated System) 은 안전하고 효율적인 운영을 보장합니다.