판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD #293817741

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD는 장치 구성의 정확성과 효율성을 극대화하기 위해 설계된 최첨단 이온 임플란터 및 모니터링 장비입니다. 이 제품은 강력한 DC/RF 듀얼 모드 빔 전달 시스템과 RF/DC 전극 구성의 혁신적인 조합을 활용하여 뛰어난 편의성과 정확성으로 이온 용량을 정확하게 배치 및 모니터링합니다. 이 장치는 사용자 정의 및 공장 구성 레시피를 위한 통합된 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface for User-Defined and Factory Configured Recipe) 를 제공하여 100% Clean-Room 호환 작업을 통해 일관되고 반복 가능한 성능을 보장합니다. 직관적인 GUI는 높은 수준의 제어, 편의성, 안심할 수 있는 (peace of mind) 기능을 통해 전원 차단 및 전원 공급 작업을 모두 허용합니다. 자가 교정 기계는 연산자가 이상적인 장치 성능을 달성하기 위해 이온 용량 (ion dose), 빔 전류 (beam current) 및 기타 프로세스 매개변수를 정확하고 빠르게 조정할 수 있도록 허용합니다. 독자적인 경고 (alarm) 와 경고 (alert) 는 성능 수준을 모니터링하고 원하는 목표에서 벗어난 사용자에게 경고를 줍니다. 또한, 이 도구의 고급 옵틱은 동적 빔 프로파일 (dynamic beam profile) 과 자동 정렬 기능을 제공하여 일관되고 정확한 이식 결과를 보장합니다. AXCELIS NV GSD 는 또한 다양한 진단/분석 툴을 제공하여 최고의 효율성과 프로세스 무결성을 보장합니다. 여기에는 총 용량 테스트 및 직류/RF 에너지 제어 검사 (imbedment performance) 및 웨이퍼 로트 및 웨이퍼 카운트 분석 등이 포함됩니다. 증발 및 임플란트 응용 프로그램 모두에 대한 종합적인 균일 성 테스트 제품군도 있습니다. EATON NOVA NV-GSD는 인상적인 고급 기능과 기능을 제공합니다. 비용 효율적이고 정확한 이온 이식 (ion implantation) 및 모니터링에 사용할 수 있는 고급 시스템 중 하나입니다. 그 결과, 반도체 칩, 집적 회로 부품, 통신 시스템, 의료 전자 제품 등 다양한 기기에 배치될 수 있다. 또한, 필요한 안전 기능을 갖추고 있으며, 엄격한 산업 생산의 모든 요구 사항을 충족시킵니다.