판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9203805
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판매
ID: 9203805
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
High energy ion implanter, 8"
Chamber
Extraction assy
Source isolation valve
Injector faraday assy
LINAC Chamber
Quadrupole assy
Resonator assy
Resolver faraday
E-Shower assy
P2 Cryo pump
(2) CTI Cryo compressors
End-station module:
DEXON With air circulation curtain
AXCELIS STD ATM Robot
Notch
Dummy cassette
(2) Load buffers
Vacuum cassette
(4) Cassette tables
Beam profile oscilloscope
Cell controller: 133
Load-lock type: GSD 100 / 200, HE
Main SUN computer SPARC station 5
Main monitor
Fiber loops
Process module:
Disk NV-GSD-200 segment type
Faraday flag
Electron shower
In-Vac arm
Wafer holder
Gyro
Linear drive
Rotary drive: Direct drive
Beamline module:
HV Power supply: Advance HIVOLT
HV Stack: OL8000 / 104 / 05, 100 kV
Post ACCEL volt: Maximum 1 MeV
Extraction suppression PS
AMU: BSL
AMU: PS EMI EMS 40-150
Hall probe: AMU / FEM
LINAC System: HE STD
(10) Resonators
(2) ADVANCED ENERGY 3155038-001 RF Power supplies
(8) ADVANCED ENERGY 3155038-004
(5) Quad power supplies: GHI PS / Dual output
FEM BSL
(2) EMI EMS 30-165 FEM Power supplies
Source module:
ELS Source head
EMI EMS 10-60 Filament PS
EMI EMS 150-7 Arc PS
Cathode PS
Source magnet STD
EMI EMS 25-25 Source magnet PS
Source bushing
HE Extraction assembly
Gas box module:
Gas box type: GSD-100, 80 KV
Gas loop 1: Ar, HP
Gas loop 2: BF3, HP
Gas loop 3: AsH3, SDS
Gas loop 4: PH3, SDS
Loop 1 MFC: MKS 1179A, Ar, 5 sccm
Loop 2 MFC: MKS 1179A, N2, 10 sccm
Loop 3 MFC: MKS 1640A, AsH3, 5 sccm
Loop 4 MFC: MKS 1640A, AsH3, 5 sccm
Vacuum system:
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Source turbo
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
CTI-CRYOGENICS OB-8 Resolving cryo pump
CTI-CRYOGENICS OB-10 V3 Cryo pump
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Linac turbo (Right)
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Linac turbo (Left)
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C / Beam guide turbo
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
CTI-CRYOGENICS OB-250F Disk cryo pump
(4) EATON NOVA / AXCELIS 3300002
Make / Gas name / Usage / Size
SWAGELOK / CDA / Machine air / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / Ar / Process Air / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / PN2 / Process vent / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / GN2 / Purge vent / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / N2 / Gas box / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / SF6 / Linac / SUS Male, 3/8"
Missing parts:
Gas box DI PCB
P8 Turbo pump
Input power: 480 VAC, 3-Phase, 60 Hz, 87 kVA
Output power: 1 MeV, 1 mA
1997 vintage.
EatonEATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE는 혁신적인 이온 임플랜터이며 이온 이식 프로세스에 대한 고급 제어를 제공합니다. 이 신뢰할 수 있는 장치는 최신 고전압 기술, 고급 자동 빔 (Automatic Beam) 전류 모니터, 프로그래밍 가능한 EOL (End-of-dose) 계산 등 다양한 기능과 기능을 제공합니다. "임플란트 '를 정확 하게 제어 하면서 비용 을 줄이고 낭비 를 최소화 하도록 설계 되었다. 최고 성능은 고급전자제어시스템 (Advanced Electronic Control System) 을 통해 이루어집니다. 제어 시스템은 고급 폐쇄 루프 빔 전류 모니터링 (closed-loop beam current monitoring) 및 자동 빔 전류 제어 (automatic beam current control) 를 특징으로하며 이식 정확도가 가장 높습니다. 또한 GSD-HE에는 임플란트 시작/중지 시간을 정확하게 제어하기 위해 프로그래밍 가능한 파티셔닝을 갖춘 디지털 타이머가 있습니다. GSD-HE는 장치 및 운영자의 손상을 방지하기 위해 내장 안전 기능을 갖추고 있습니다. 빠른 종료를위한 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼과 최대 보호를 위해 외부 방사선 차폐 (External Radiation Shield) 가 장착되어 있습니다. 또한, GSD-HE는 물질의 최소한의 누출을 보장하고 환경 위험을 줄이기 위해 낮은 방출, 낮은 누출 (low-leakage near-saturation) 설계로 설계되었습니다. EatonAXCELIS NV GSD HE는 고급 제어 (Advanced Control), 안전 (Safety) 기능 및 최적화된 설계를 통해 모든 산업 환경에서 사용할 수 있습니다. 안정된 빔 전류 제어 (beam current control) 및 정밀 용량 속도 계산을 제공하여 연산자가 이온 이식 프로세스를 완전히 제어 할 수 있습니다. 또한, 높은 신뢰성과 균일 한 이식 성능은 최고의 품질을 보장합니다. 고급 기능을 갖춘 EatonEATON NOVA NV-GSD HE는 모든 산업 환경에 필수적인 도구입니다.
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