판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #293586689

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ID: 293586689
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
Medium current implanter, 8" Cassette to cassette Energy range: 180KeV No rough pumps Missing parts: Flow hood Lower machine front panels Power supply: 208 V, 97.0 A, 50 Hz, 3 Phase CE Marked 2004 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E는 최첨단 이온 임플란터 및 모니터입니다. 이온 임플란터 (ion implanter) 는 붕소, 인, 비소 같은 도펀트 (dopant) 를 기판 물질에 도입하여 원하는 전기 전하를 만들기 위해 반도체 제조 공정에 사용됩니다. AXCELIS 의 AXCELIS NV-GSD-200E 모델은 운영 층을 위해 제작되었으며 처리량을 극대화하는 탁월한 성능을 제공합니다. EATON NOVA NV-GSD 200E는 고급 고에너지 빔라인 기술을 통해 정확성 향상, 균일성 향상 및 용량 조절 기능을 제공합니다. 이 이온 임플란터에는 다중 필라멘트 고류 콕크로프트-월튼 (Cockcroft-Walton) 장비가 장착되어 기판 재료에 최대 1000A의 매우 큰 전류를 전달할 수 있습니다. 이렇게 하면 여러 기판에 걸쳐 일관되고 균일한 임플란트 프로파일이 생성되어 성능이 향상됩니다. AXCELIS NV GSD 200 E 는 고급 빔라인 (beamline) 기술 이외에도 기판 재료에 마스크를 정확하게 배치할 수 있는 정확한 광 정렬 시스템 (optical alignment system) 을 갖추고 있습니다. 이를 통해 마스크 정렬이 최소화되어 정확한 이식 프로세스가 가능합니다. 이온 임플란터는 또한 3 차원 용량 맵 분석기 (dose map analyzer) 와 실시간 피드백 루프 (feedback loop) 를 포함하며, 둘 다 전체 프로세스 전체에서 이온 임플란테이션 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 NV-GSD-200E 는 내장 모니터 유닛과 함께 제공되어 임플란테이션 프로세스가 원활하고 효율적으로 실행되도록 합니다. 이 모니터는 시스템 로그 처리 (logs process) 및 빔라인 (beamline) 데이터를 모니터링하며, 이온 임플란테이션 프로세스의 오류 또는 오작동을 감지할 수 있습니다. 따라서 사용자가 신속하게 문제를 진단하고 해결하여 다운타임을 줄일 수 있습니다. AXCELIS NV GSD 200E는 전반적으로 강력하고 안정적이며 유연한 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 고급 빔라인 (beamline) 기술과 광학 정렬 (optical alignment) 도구를 통해 일관되고 균일한 임플란트와 마스크의 정확한 배치가 가능합니다. 온보드 모니터 (On-Board Monitor) 자산은 프로세스의 오류를 감지하고 진단하는 데 도움이 되며, 다운타임을 최소한으로 유지합니다. AXCELIS NV GSD-200E (AXCELIS NV GSD-200E) 는 이온 임플란테이션 프로세스에 대한 탁월한 성능, 정확성 및 제어를 원하는 모든 운영 계층에 적합한 선택입니다.
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