판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #163109

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E는 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 광범위한 기판에 걸쳐 효율적이고, 안정적이며, 정확한 도펀트 임플란테이션을 제공하도록 설계되었습니다. 기계 는 "이온 '원 을 이용 하여 원하는" 에너지' 로 가속 되는 "이온 '의 광선 을 발생 시킨다. 그런 다음, "도판트 '" 이온' 이 기판 물질 에 이식 되는 전극 을 통해 적절 한 기판 으로 향하게 된다. AXCELIS NV-GSD-200E는 고성능, 정확한 이온 임플랜팅 결과를 제공하는 독특한 디지털 드라이브 장치를 갖추고 있습니다. 이 디지털 드라이브 장치에는 빔의 최소한의 "진동 (oscillation)" 으로 최적의 이식 결과를 얻을 수있는 디지털 피드백 루프가 있습니다. 또한, 디지털 드라이브 장치를 조정하여 0.5 ~ 40 keV 범위의 광범위한 임플란테이션 에너지를 제공 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 강력한 모니터링 장비로 구성됩니다. 모니터 (Monitor) 는 각 임플란트의 용량과 에너지, 그리고 공정 중 기판 온도의 실시간 업데이트를 제공합니다. 따라서 사용자는 이식 (implantation) 매개변수를 조정하여 이식 프로세스를 세밀하게 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. EATON NOVA NV-GSD 200E는 공정 중에 깨끗한 임플란테이션 챔버를 유지하는 진공 시스템을 갖추고 있습니다. 이 진공 장치는 벤츄리 펌프 (venturi pump) 와 터보 펌프 (turbo pump) 로 구성되며 -9.0에서 + 9.0 inHg의 압력을 유지할 수 있습니다. 결과적으로 기계는 ISO 5 클래스 클린 룸 환경에서 사용할 수 있습니다. 마지막으로, NV-GSD-200E는 이중 안전 및 제어 기계로 인해 안전성이 높고 안정적입니다. 이 도구는 이중 안전 제어 (Safety Control), 경보 (Alarm) 및 경고 시스템을 제공하여 사용자에게 잠재적 위험 조건을 경고합니다. 그 에 더하여, 기계 는 기판 에 대한 "방주 '나 기타 손상 가능성 을 감소 시키고 제거 하도록 설계 되었다. 결론적으로 NV GSD 200 E는 강력하고 신뢰할 수있는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 디지털 드라이브 장치 (digital drive unit) 를 통해 효율적이고 정확한 임플랜테이션을 제공하는 반면, 모니터링 자산은 기판 상태에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 강력한 진공 모델을 통해 iso 5 클래스 클린 룸 (Clearroom) 환경에서 사용할 수 있으며, 이중화 기능은 사용자가 잠재적 인 위험 상태로부터 안전하도록 보장합니다.