판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #293745414
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EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200은 고성능 칩 구성 및 테스트를 위해 설계된 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 장치를 통해 사용자는 이온을 반도체 기판에 임플란트 (implant) 할 수 있으며, 더 높은 수준의 정확도와 생산 제어가 가능합니다. 이 모듈은 두 개의 기본 모듈 (이온 임플란터 및 모니터) 로 구성됩니다. 임플란트 모듈 내의 이젝터 시스템은 임플란트 사이클 동안 다른 작업 조각에 낮은 PDS 및 TPH 임플란트를 생성 할 수 있습니다. 이 장치에는 플라즈마 안정성을 높이고, 프로세스 제어를 개선하고, 변형을 줄이기 위한 여러 개의 독립 전원 공급 장치가 있습니다. 또한, 향상된 성능과 제어를 위해 여러 전용 하드웨어 인터페이스가 포함된 통합 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 따라서 신뢰성이 향상되고 보다 효율적인 데이터 수집이 가능합니다. 컴퓨터의 모니터 모듈은 프로세스 제어를 활성화하기 위해 실시간 매개변수를 표시할 수 있습니다. 여기에는 루프 (loop) 가 열려 있고 닫힌 제어 시스템이 포함되어 있어, 운영자가 즉석에서 사출 매개변수를 변경할 수 있습니다. 또한, 장치에는 임플란트 (Implant) 와 모니터 (Monitor) 모듈 모두에 연결된 저항 모니터가 장착되어 시간 경과에 따른 저항성 변화를 측정하고 분석합니다. 이는 이식 프로세스의 이상을 식별하고 분석하는 데 도움이됩니다. 이 장치에는 내장 진공 시스템 (in-built vacuum system) 과 오염 물질을 최소화하고 공기 순환을 최대화하기 위해 대형 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 최적의 임플란테이션 품질을 보장하고 생산 수준의 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 이 장치는 작동 중 환경 변동으로부터 보호되며, 오류 가능성을 줄이고, 생산성을 향상시킵니다. AXCELIS NV GSD 200은 다재다능하고 신뢰할 수있는 이온 임플란터이므로 칩 제작 및 테스트에 이상적인 선택입니다.
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